Najbardziej zaawansowane są prace nad miniaturowym spektrometrem mas. Prowadzone są one w ramach grantu finansowanego przez Narodowe Centrum Badań i Rozwoju na wspólne polsko-singapurskie projekty badawcze we współpracy z National University of Singapore (habilitant jest głównym wykonawcą i liderem Work Package 1). Dwie wersje spektrometru MEMS uzyskały ochronę patentową [A16, A17].
Spektrometr MEMS składa się ze źródła jonów, układu elektrod formującego wiązkę jonów, analizatora jonów, detektora, układu dozowania próbki, z mikropompy próżniowej oraz elektronicznego systemu zasilająco-sterującego [B14, B17, B22]. Po odpompowaniu spektrometru do wysokiej próżni, do wnętrza dozowana jest próbka gazu. Gaz jest jonizowany i rozdzielony na jony o różnym stosunku masy do ładunku.
Zaproponowano dwie konfiguracje urządzenia: planarną, gdzie wszystkie elementy składowe znajdują się jedna obok drugiej, a jonizacja, separacja i detekcja odbywają się w płaszczyźnie poziomej; oraz wertykalną, w której wszystkie elementy poza mikropompą ułożone są jedne nad drugimi (Rys. 17). Na obecnym etapie rozważane są także różne możliwości jonizacji gazu: 1) z wykorzystaniem polowego źródła elektronów, w którym emitowane elektrony bezpośrednio uderzają w cząsteczki gazu [B22], 2) z zastosowaniem źródła, w którym katoda polowa jest oddzielona od komory jonizacyjnej cienką membranę
23 z Si3N4 (ochrona katody przed oddziaływaniem jonów [B23]) oraz 3) z zastosowaniem źródła jonów wykorzysującego wyładowanie jarzeniowe [B25].
Przeprowadzono także symulacje komputerowe różnych technik separacji wiązki jonów, które pozwoliły wybrać odpowiednią metodę. Najbardziej obiecujące wyniki uzyskano dla metody pomiaru czasu przelotu jonów (tzw. Time-of-Flight) oraz separacji w zmiennym polu elektrycznym (tzw. filtr kwadrupolowy). Ponadto, opracowano metodę dozowania gazu do spektrometru, wykorzystującą bardzo powolny naciek przez mikro/nanokanały o bardzo małej przewodności [B19].
a) b)
c)
Rys. 17. Schemat miniaturowego spektrometru mas zintegrowanego z mikropompą MEMS w wersji planarnej (a) wraz z fotografią struktury testowej (b), oraz schemat spektrometru mas w wersji wertykalnej (c)
Mikropompa próżniowa
Źródło jonów
Analizator
24 B) Zintegrowany mikroskop elektronowy MEMS
Miniaturowy mikroskop elektronowy składać się będzie z polowego źródła elektronów, kolumny elektrono-optycznej zakończonej anodą z cienką membraną Si3N4 transparentną dla elektronów, z mikropompy próżniowej oraz elektronicznego systemu zasilająco-sterującego (Rys. 18). Próbka umieszczona na membranie poza próżniową częścią urządzenia będzie skanowana wiązką elektronów, która przeniknie przez membranę. Sygnał wyjściowy odbierany będzie przez kamerę CCD i przetwarzany na obraz przez odpowiednie oprogramowanie.
Przedstawiona koncepcja mikroskopu uzyskała ochronę patentową [A15], a prace nad jej realizacją prowadzone są aktualnie w ramach projektu OPUS 11, w którym habilitant jest jednym z wykonawców. Dotychczas, wykonano już pierwsze struktury testowe [A11, B15].
Opracowano metodologię wielowarstwowego łączenia podłoży krzemowych i szklanych, uzyskano próźnioszczelne chipy, odpompowano je za pomocą zintegrowanej mikropompy i zmierzono stabilność prądu emisji. Zbadano także jak obecność pola magnetycznego (niezbędnego dla działania mikropompy) wpływa na wiązkę elektronów [A20].
Zaobserwowano efekty związane z jej zniekształceniem i zaproponowano metody eliminacji niekorzystnych zjawisk, a także opracowano sposób wykorzystania ich dla poprawy działania całego urządzenia.
a) b)
Rys. 18. Mikroskop elektronowy MEMS zintegrowany z mikropompą: a) schemat urządzenia, b) fotografia struktury testowej [A11].
25 C) Zintegrowane źródło promieniowania rentgenowskiego MEMS
Koncepcja źródła rentgenowskiego MEMS została już opracowana i opatentowana [A18].
Składać się ono będzie z wielowarstwowego chipa krzemowo-szklanego (Rys. 19) oraz elektronicznego systemu zasilająco-sterującego. Elektrony emitowane z polowego źródła elektronów na końcu kolumny elektrono-optycznej trafiają w target wykonany z warstwy miedzi naniesionej na cienką krzemową membranę. Uderzając w target wytracają energię, która jest zamieniana na promieniowanie rentgenowskie [U24]. Promieniowanie emitowane jest we wszystkich kierunkach, ale dzięki odpowiedniemu uformowaniu anody, można zawęzić je do wiązki, którą następnie można wykorzystać do prześwietlania małych obiektów znajdujących się po drugiej stronie anody.
Rys. 19. Schemat miniaturowego źródła rentgenowskiego MEMS zintegrowanego z mikropompą
D) „Samopompująca się” komórka optyczna Rb/Cs5
Kolejnym mikrosystemem wysokopróżniowym, w którym zastosowano mikropompę, jest komórka optyczna przeznaczona do wykorzystania w spektroskopii „zimnych atomów”, w tym do zegara atomowego nowej generacji. Komórka taka poza przezroczystą wnęką optyczną oraz mikropompą wyposażona jest w „dyspenser” cezowy lub rubidowy (Rys. 20). Jest to specjalnie przygotowana „pastylka” materiału wiążącego jeden z wymienionych pierwiastków, który w wyniku reakcji termicznej uwalnia jego pary (tzw. proces dispensingu) [U25]. W zegarach nowej generacji pary cezu lub rubidu są schładzane za pomocą wiązek laserów do temperatury poniżej 1 mK. Otrzymuje się wówczas stan zbliżony do kondensatu Bosego-Einsteina. Atomy utrzymywane są niemal
5 Osobą wiodącą w opisanych badaniach poza habilitantem jest dr inż. Paweł Knapkiewicz.
26 w identycznym stanie energetycznym. Mierząc spektrum absorpcji promieniowania laserowego przechodzącego przez tzw. „chłodne atomy”, można z niezwykłą precyzją dostroić jego częstotliwość.
Aby jednak taka komórka działała poprawnie, we wnętrzu musi panować ultra wysoka próżnia. Niemożliwe byłoby jej otrzymanie bez zastosowania mikropompy próżniowej. Prace nad tym zagadnieniem prowadzone są w ramach badań statutowych PWr i są już zaawansowane. Powstała krzemowo-szklana struktura testowa, odpompowano ją do wysokiej próżni, przeprowadzono proces dispensingu i we wnętrzu otrzymano atmosferę cezową/rubidową.
Dzięki temu, że prąd jonowy mikropompy jest miarą ciśnienia, możliwe było po raz pierwszy zmierzenie, jak zmienia się ciśnienie wewnątrz komórki optycznej w czasie procesu dispensingu. Odnotowano jego wzrost do poziomu 10–4–10–2 hPa w zależności od parametrów procesu. Dodatkowo, wykorzystując opracowaną wcześniej spektroskopową metodę pomiaru składu gazu, ustalono, że poza uwalnianymi parami cezu/rubidu, dyspenser wydziela również wodór i węglowodory. Z tego powodu po procesie dispensingu konieczne jest ponowne odpompowanie struktury. Po kilku minutach mikropompa pozwoliła powrócić do wyjściowej wysokiej próżni. Odpompowano w ten sposób gazy resztkowe, natomiast pary rubidu/cezu dalej utrzymywały się w objętości, co potwierdzono mierząc charakterystyki absorpcji promieniowania [A22].
a) b)
Rys. 20. Mikrokomórka zegara atomowego zintegrowanego z mikropompą: a) schemat urządzenia, b) fotografia struktury testowej [A22].
1 cm
27
Podsumowanie
Opracowanie metod wytwarzania, stabilizacji i kontroli próżni stanowi duże osiągnięcie nie tylko w skali krajowej, ale i międzynarodowej. W wyniku prac prowadzonych przez habilitanta powstało kilka typów mikropomp próżniowych, które optymalizowano pod kątem konstrukcji, geometrii oraz zastosowanych materiałów. Zbadano również jak przebiegał proces pompowania, jakie gazy i w wyniku jakich procesów są odpompowywane, a jakie nie.
Opracowano metodę pomiaru ciśnienia oraz składu gazów resztkowych. Dokonano różnych modyfikacji struktur testowych, które doprowadziły do zwiększenia efektywności jonizacji gazu, a tym samym do poprawy wydajności pompowania. Po raz pierwszy uzyskano ultra wysoką próżnię (10–9 hPa) w mikroobjętości. Wykonano również mikropompę próżni wstępnej, która w połączeniu z mikropompą próżni wysokiej utworzyła system pompowy pozwalający obniżyć ciśnienie od ciśnienia atmosferycznego do poziomu 10–6 hPa, to jest 9 rzędów wielkości.
Powyższe osiągnięcia mają duży wpływ na rozwój całej dziedziny mikrosystemów próżniowych oraz nanoelektroniki próżniowej. Przez długi czas miniaturowe urządzenia wymagające do poprawnej pracy wysokiej próżni (źródła rentgenowskie i terahercowe, spektrometry mas, lasery na swobodnych elektronach) istniały jedynie w fazie koncepcji, albo pracowały w warunkach laboratoryjnych. Dopiero opracowanie mikropomp MEMS, które mogą być integrowane z innymi urządzeniami tego typu dało szansę na kolejny krok.
W ten sposób powstała nowa dziedzina, nazwana „mikrosystemami wysokopróżniowymi”
(High vacuum MEMS), która była i w dalszym ciągu jest rozwijana przez habilitanta oraz przez zespół badawczy, w którym pracuje.
Choć prace nad kompletnymi urządzeniami nie są jeszcze ukończone, to już stanowią znaczne osiągnięcie. Po raz pierwszy możliwe stało się wykonanie mikrosystemów próżniowych wraz z obudową w jednym ciągu technologicznym, co umożliwi w przyszłości ich seryjną produkcję oraz pozwoli zachować małe wymiary, niski pobór mocy i koszt, a co za tym idzie – zwiększy ich dostępność. Przy okazji otwarto również szereg pól badawczych o charakterze czysto poznawczym, które do tej pory nie były zgłębiane:
jak wyglądają wzajemne oddziaływania pomiędzy miniaturowym urządzeniami połączonymi na jednych chipie, jak zmieniają się warunki próżniowe w czasie ich działania, co powoduje pogorszenie, a co polepszenie próżni, itp. Odpowiedź na nie, poza kwestiami konstrukcyjno-technologicznymi, stanowiła meritum podejmowanych badań.
28 Za najważniejsze osiągnięcia habilitanta po uzyskaniu stopnia doktora należy uznać:
A. Opracowanie nowej metody wytwarzania próżni w mikrosystemach. W ramach tych prac:
1. Dokonano przeglądu wszystkich najnowszych konstrukcji mikropomp próżniowych MEMS, opublikowano pierwszy przeglądowy artykuł w tej dziedzinie [A6],
2. Zaprojektowano i wykonano struktury testowe mikropomp próżniowych MEMS w różnych konfiguracjach: m.in. Schultza-Phelpsa, Laferty-ego, magnetronowej [A10, A12, A13, B12],
3. Przeprowadzono badania procesu jonizacji gazów i pompowania przez miniaturowe pompy w referencyjnej komorze próżniowej; wyznaczono charakterystyki kalibracyjne, szybkości pompowania oraz ciśnienie końcowe [A10, B12].
4. Wykonano badania składu gazów resztkowych wewnątrz mikropompy metodą spektroskopową oraz metodą RGA (Residual Gases Analysis, SAES Getters, Włochy) [A1, A5, B9, U21].
5. Zbadano pod kątem materiałowym oraz strukturalnym powierzchnię elektrod mikropompy jarzeniowej po dłuższym czasie pracy (oddziaływaniu jonów i elektronów) [B16, U22].
6. Przeprowadzono badania nad optymalizacją mikropompy pod kątem jej konstrukcji i doboru materiałów elektrod [A9].
7. Przeprowadzono długoczasowe pomiary pracy mikropompy [B16].
8. Zaproponowano i przetestowano metody modyfikacji elektrod mikropompy w celu zwiększenia efektywności jonizacji gazu: zastosowano nanorurki węglowe, warstwy tlenku magnezu oraz krzemu porowatego. Po raz pierwszy otrzymano ultra wysoką próżnię 10‒9 hPa w mikrosystemach MEMS [A7].
9. Opracowano metodę wytwarzania niskiej próżni za pomocą mikropompy jonowo-sorpcyjnej (od 1000 hPa do 1 hPa) [A19, B11].
10. Opracowano dwustopniową mikropompę MEMS pracującą od ciśnienia atmosferycznego do wysokiej próżni (10‒6 hPa), „pokrywającą” 9 rzędów ciśnienia [A8].
29 B. Opracowanie nowej metody pomiaru próżni w mikrosystemach; w ramach czego:
1. Dokonano przeglądu metod wytwarzania mikrosystemów próżniowych i pomiaru ciśnienia w mikroobjętości [A1],
2. Opracowano „jonizacyjny czujnik ciśnienia” do pomiaru próżni w mikroobjętości, pracujący w szerokim zakresie ciśnienia [A5, A14],
3. Zbadano wpływ atmosfery gazowej na charakterystyki prądowe czujnika [A5],
4. Opracowano metodę spektroskopową pomiaru składu atmosfery gazowej wewnątrz mikroobjętości [A5, A14],
5. Potwierdzono pracę mikropompy próżniowej za pomocą zintegrowanego miniaturowego czujnika Piraniego [A2].
C. Opracowanie technologii integracji mikropompy MEMS z wybranymi mikrosystemami MEMS (we współpracy z innymi członkami zespołu Z7/W12 PWr), obejmujące:
1. Wykonanie struktur testowych polowych źródeł elektronów w konfiguracji wertykalnej i lateralnej zintegrowanych z mikropompą próżniową na jednym chipie [A3, A4],
2. Potwierdzenie przydatności mikropompy próżniowej MEMS dla poprawy działania polowych źródeł elektronów uszczelnionych próżniowo [A3, A4],
3. Opracowanie koncepcji budowy i wykonanie struktur testowych nowatorskich mikrosystemów wysokopróżniowych: mikroskopu elektronowego MEMS [A11, A15], spektrometru masowego MEMS [A16, A17, A21], źródła promieniowania rentgenowskiego MEMS [A18] oraz mikrokomórki optycznej do zegara atomowego MEMS [A22],
4. Rozpoczęcie badań nad określeniem wpływu pola magnetycznego niezbędnego dla działania mikropompy MEMS na pracę innych miniaturowych urządzeń zawierających polową wyrzutnię elektronów [A20].
Porównując osiągnięcia naukowe habilitanta z innymi prezentowanymi w literaturze światowej [A1, A6], należy stwierdzić, że są one wyróżniające się i stanowią wyraźny skok w rozwoju próżniowych MEMSów i nanoelektroniki próżniowej.
30
Bibliografia
A1. A. Górecka-Drzazga, T. Grzebyk, Measurements of vacuum in microsystems, Advances in sensors: Reviews, International Frequency Sensor Association, ed. Prof. Sergey Y. Yurish, Vol. 5, Chapter 11, 2018, pp. 281-307.
A2. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, K. Maamari, S. An, T. Dankovic, A.
Feinerman, H. Busta, Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge, Journal of Vacuum Science and Technology B, 33, 3 (2015) 03C103
A3. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, MEMS-type self-packaged field-emission electron source, IEEE Transactions on Electron Devices, 62, 7 (2015) 2339-2345.
A4. T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Lateral MEMS-type field-emission electron source, IEEE Transactions on Electron Devices, 63 (2016) 809-813.
A5. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, MEMS type ionization vacuum sensor, Sensors &
Actuators A, 246 (2016) 148-155.
A6. T. Grzebyk, MEMS vacuum pumps, Journal of Microelectromechanical Systems, 99 (2017) 1-13.
A7. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Improved properties of the MEMS-type ion-sorption micropump, Journal of Vacuum Science and Technology B, 35 (2017) 062001 A8. T. Grzebyk, MEMS tandem ion-sorption micropump, Journal of Micromechanics and Microengineering, 7 (2017) 125019
A9. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, Characterization of the ionization process inside a miniature glow-discharge micropump, Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences, 66 (2018) 133-137.
A10. T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, Magnetron-like miniature ion source, Vacuum, 151 (2018) 167-174.
A11. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Electron optics column for a new MEMS-type transmission electron microscope, Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences, 66 (2018) 173-178.
A12. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Mikromechaniczna jonowo-sorpcyjna pompa próżniowa, Patent Polska nr PAT.224632. Opubl. 10.06.2016
A13. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Mikromechaniczna jonowo-sorpcyjna pompa próżniowa, Patent Polska nr PAT.224633. Opubl. 13.06.2016
A14. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Mikromechaniczny próżniomierz jonizacyjny, Patent Polska nr PAT.228498, Opubl. 22.11.2017.
A15. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy, Patent Polska nr PAT.225546, Opubl.
9.11.2016.
A16. P. Szyszka, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Zintegrowany, miniaturowy spektrometr mas, Patent Polska nr PAT.230151, Opubl. 23.05.2018
A17. P. Szyszka, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Zintegrowany, miniaturowy spektrometr mas, Patent Polska nr PAT.230152, Opubl. 25.05.2018
A18. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Miniaturowe źródło promieniowania rentgenowskiego, Patent Polska nr PAT.227227. Opubl. 6.06.2017.
31 A19. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Mikropompa próżni wstępnej, Zgłoszenie Patentowe nr P.417778, z dn. 30.06.2016, Patent Polska Opubl. 24.08.2018.
A20. T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka Drzazga, J. Dziuban, Influence of a magnetic field on trajectories of electrons in MEMS transmission electron microscope, Technical Digest of 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017: 10-14 July 2017, Regensburg, Niemcy, 188-189.
A21. P. Szyszka, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban, MEMS ion source for mass spectrometer integrated on a chip, Journal of Physics: Conference Series 773, 1 (2016) 012099.
A22. P. Knapkiewicz, J. Dziuban, T. Grzebyk, Dynamically stabilized high vacuum inside MEMS optical cell for atomic spectroscopy, Technical Digest of 31th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2018: 9-13 July 2018, Kioto, Japonia, 224-225.
B1. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, K. Maamari, S. An, T. Dankovic, A.
Feinerman, H. Busta, Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge, Technical Digest of 27th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2014: July 6-10, 2014, Engelberg, Switzerland, s. 206-207.
B2. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Vertical MEMS-type field-emission electron source, Technical Digest of 27th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2014: July 6-10, 2014, Engelberg, Switzerland, s. 208-209.
B3. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, A concept of fully integrated MEMS-type electron microscope, Technical Digest of 27th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2014: July 6-10, 2014, Engelberg, Switzerland, 77-78.
B4. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Miniature electron microscope – concept and technology capabilities, Przegląd Elektrotechniczny 90 (2014) 116-119.
B5. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, T. Dankovic, A. Feinerman, H. Busta, Miniature integrated high vacuum MEMS, Procedia Engineering, 87 (2014) 891-894.
B6. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Electron beam forming in MEMS-type electron gun, Technical Digest of 28th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2015: 13-17 July 2015, Guangzhou, China, 194-195.
B7. T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Lateral MEMS-type field-emission electron source, Technical Digest of 28th International Vacuum Nanoelectronics Conferernce IVNC 2015: 13-17 July 2015, Guangzhou, China, 198-199.
B8. T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, Polowa wyrzutnia elektronów dla miniaturowych urządzeń typu MEMS, Przegląd Elektrotechniczny, 2 (2015) 219-221.
B9. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Vacuum and residual gas composition MEMS sensor, Procedia Engineering, 120 (2015) 671-674.
B10. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban, Improved ionization efficiency in MEMS-type ion-sorption micropump, Technical Digest of 29th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2016: 11-15.07.2016, Vancouver, Canada, 1-2.
B11. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban, Low vacuum MEMS ion-sorption micropump, Procedia Engineering 168 (2016) 1593 – 1596.
32 B12. T. Grzebyk, P. Knapkiewicz, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban, MEMS ion-sorption high vacuum pump, Journal of Physics: Conference Series 773,1 (2016) 012047.
B13. M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, K. Laszczyk, A. Górecka Drzazga, J. Dziuban, Technology and properties of thin membrane-anode for MEMS transmission electron microscope, Technical Digest of 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017: 10-14 July 2017, Regensburg, Niemcy, 190-191.
B14. P. Szyszka, T. Grzebyk, M. Krysztof, A. Górecka Drzazga, J. Dziuban, Miniature mass spectrometer integrated on a chip, Technical Digest of 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017: 10-14 July 2017, Regensburg, Niemcy, 186-187.
B15. M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, K. Laszczyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban Technology and parameters of thin membrane-anode for MEMS transmission electron microscope, Journal of Vacuum Science and Technology B, 36 (2018) 02C107
B16. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, High vacuum in MEMS, IEEE Proceedings of Baltic URSI Symposium, 14-17 May 2018, Poznań, Poland, 250-251
B17. P. Szyszka, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Highly effective MEMS gas ionizer - a significant step of development of integrated ion-mass spectrometer, IEEE Proceedings of Baltic URSI Symposium, 14-17 May 2018, Poznań, Poland, 248-249
B18. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Transmission electron microscope on-the-chip - a reality or mystification?, IEEE Proceedings of Baltic URSI Symposium, 14-17 May 2018, Poznań, Poland, 252-253.
B19. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, MEMS nanoleak gas injection system, XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE) 2018, 18-20.06.2018 Warsaw, Poland, (4pp).
B20. M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, K. Laszczyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Electron transparent anode for MEMS transmission electron microscope, XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE) 2018, 18-20.06.2018 Warsaw, Poland, (4pp).
B21. K. Laszczyk, M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, From a microtip to a planar cathode - an electron source with a simplified technology, XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE) 2018, 18-20.06.2018 Warsaw, Poland, (4pp).
B22. P. Szyszka, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, A concept of MEMS mass spectrometer, XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE) 2018, 18-20.06.2018 Warsaw, Poland, (4pp).
B23. T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, MEMS ion source for ion mobility spectrometry, Technical Digest of 31th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2018: 9-13 July 2018, Kyoto, Japan, 74-75.
B24. M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Preliminary imaging in miniature MEMS electron microscope, Technical Digest of 31th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2018: 9-13 July 2018, Kyoto, Japan, 224-225.
B25. T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Glow-discharge ion source for on-chip integrated miniature MEMS mass spectrometer, Proceedings of PowerMEMS Conference 2018, 3-6 December 2018, Daytona Beach, USA, (4pp.)
33 U1. J. Bryzek, Wykład zaproszony „MEMS and sensors solutions”, International Conference on Commercialization of Micro Nano Systems, 2015, Kraków, Poland.
U2. J. Dziuban, „Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów”, Wrocław, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004.
U3. Report of VABOND project, IST-2001-34224.
U4. S. Miller, M. Desmulliez, “MEMS ultra-low leak detection methods: a review”, Sensor Review 29 (4) (2009) 339-344.
U5. Page films brochure_2007_1069, http://www.saesgetters.com/
U6. D. Sparks, S. Massoud-Ansari, N. Najafi, “Chip-level vacuum packaging of micromachinesusing nanogetters”, IEEE Transactions on Advanced Packaging, 26 (3) August 2003, (10pp).
U7. C. S. Premachandran, S.C. Chong, T.C. Chai, M.K. Iyer, Vacuum packaging development and testing for an uncooled IR bolometer device, Technical Digest of Electronic Components and Technology Conference 2004, pp. 951-955.
U8. M. Esashi, Wafer level packaging of MEMS, J. Micromech. Microeng. 18 (2008) 1-13.
U9. M. Rahman, M. Chitteboyina, D. Butler, Z. Çelik-Butler, S. Pacheco, R. McBean, Device-level vacuum packaging for RF MEMS, Journal of Microelectromechanical Systems 19, 4 (2010) 911-919.
U10. A. Górecka-Drzazga, Mikro- i nanoemitery polowe, Oficyna Wydawnicza PWr, Wrocław, 2008.
U11. H. Koops, A. Al.-Mudhafar, L. Hartnagel, Miniaturized THz Source with free-electron beams, Technical Digest of the 24th Intern. Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC, 18-22 July 2011, pp. 236-237.
U12. P. Legagneux, P. Ponard, L. Gangloff, S. Xavier, Optically driven multiple X-ray sources based on carbon nanotubes photocathodes, Technical Digest of 24th IVNC 2011, pp.138-139.
U13. R. Yabushita, K. Hata, H. Sato, Y. Saito, Development of compact field emission scanning microscope equipped with multiwalled carbon nanotubes bundle cathode, J. Vac.
Sci. Technol B 25, 2 (2007) 640-641.
U14. S. McNamara, On-Chip Vacuum Generated by a Micromachined Knudsen Pump, Journal of Microelectromechanical Systems, 14 (4) (2005) 271-276.
U15. M. Doms, J. Mueller, “A micromachined vapor jet pump”, Sensors and Actuators A 119 (2005) 462–467.
U16. H. Koops, A miniaturized orbitron pump for MEMS application, Technical Digest of the 18th Intern. Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC, 10-14 July 2005, pp. 364-365.
U17. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, A. Zawada, P. Konarski, Micropump for generation and control of vacuum inside miniature devices, Journal of Microelectromechanical Systems, 23, 1 (2014) 50-55.
U18. T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, Glow-discharge ion-sorption micropump for vacuum MEMS, Sensors & Actuators A, 208 (2014) 113-119.