Temat projektu/pracy dyplomowej
inżynierskiej (jęz. pol.)
Diagnostyka plazmowego procesu wytwarzania domieszkowanego diamentu Temat projektu/pracy
dyplomowej
inżynierskiej (jęz. ang.)
Diagnostics of doped diamond grown in plasma processes Opiekun pracy dr inż. Robert Bogdanowicz
Konsultant pracy dr inż. Marcin Gnyba
Cel pracy Celem pracy są badania składu oraz stanu wzbudzenia plazmy podczas procesu syntezy diamentu domieszkowanego borem. Na potrzeby tych zadań zastosowane zostaną optyczna spektroskopia emisyjna oraz sonda Langmuira.
Zadania do wykonania 1. Zapoznanie się z konfiguracją systemu plazmowego 2. Integracja spektrometru z systemem plazmowym 3. Pomiary spektrometryczne plazmy mikrofalowej 4. Analiza i opracowanie wyników badań
Źródła
[1]. O.A. Williams, M. Nesladek, M. Daenen, S. Michaelson, A. Hoffman, E. Osawa, K. Haenen, R.B. Jackman, Growth, electronic properties and applications of nanodiamond, Diamond and Relat. Mater., (2008).[2]. Ricardo S. Sussmann (red.), CVD Diamond for Electronic Devices and Sensors, Wiley,(2009).
[3]. O.A. Williams, M. Nesládek, Growth and properties of nanocrystalline diamond films, Physica Status Solidi (a), (2006).
[4]. Rayar, M.; Supiot, P.; Veis, P.; Gicquel, A.; Optical emission study of a doped diamond deposition process by plasma enhanced chemical vapor deposition, Optical emission study of a doped diamond deposition process by plasma enhanced chemical vapor deposition, (2008).
