Temat projektu/pracy dyplomowej
inżynierskiej (jęz. pol.)
Laserowy miernik grubości cienkich struktur dielektrycznych Temat projektu/pracy
dyplomowej
inżynierskiej (jęz. ang.)
Laser system for thickness monitoring of thin dielectric structures Opiekun pracy dr inż. Robert Bogdanowicz
Konsultant pracy dr inż. Marcin Gnyba
Cel pracy Praca projektowo-konstrukcyjna, której celem jest zbudowanie laserowego systemu do pomiaru grubości cienkiej warstwy w komorze próżniowej.
Zadania do wykonania 1. Opracowanie projektu systemu
2. Wytypowanie i zakup elementów konstrukcyjnych 3. Budowa prototypu systemu
4. Testowanie i pomiary systemu w laboratorium
Źródła [1]. E. D. Palik ed. Handbook of Optical Constants of Solids. Academic Press, New York (1985) [2]. H. G. Tomkins, Spectroscopic ellipsometry and Reflectometry. Wiley, New York (1999).
[3]. www.thorlabs.com Liczba wykonawców 1
Uwagi Praca finansowana w ramach projektu naukowego NCBiR Lider