• Nie Znaleziono Wyników

Technologia cienkich warstw ZnO dla zastosowań w akustoelektronice i optoelektronice

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2022

Share "Technologia cienkich warstw ZnO dla zastosowań w akustoelektronice i optoelektronice"

Copied!
9
0
0

Pełen tekst

(1)

Seria: A U T O M A T Y K A z. 73 Nr kol. 798

Andrzej K R Z E S I Ń S K I

T E CH N O LO GIA C I E N K I C H W A R S T W Z n O OL A Z A S T O S O W A Ć W A K U S T O E L E K T R O N I C E I O P T O E L E K T R O N I C E

S t r e s z c z e n i e . W p r a c y p r z e d s t a w i o n o t e c h n o l o g i ę c i e n k i c h w a r s t w Z n O pozwalaj ęc? na o t r z y m y w a n i e w a r s t w s t e k s t u r o w a n y c h w k i e r u n k u (OOlj l ub [100] . O p r ó c z b a d a ń k r y s t a l o g r a f i c z n y c h przeprowadzono tak­

ż e s z e r e g p o a i e r ó w o k r e ś l a j ę c y c h i n n e w ł a s n o ś c i w a r s t w ZnO, takie jak: w s p ó ł c z y n n i k i s p r z ę ż e n i a e l e k t r o m e c h a n i c z n e g o c z y t ł u a i e n n o ś ć ś wia tła l a s e r o w e g o ( A - 6328A).

A k u s t o e l e k t r o n i k a , a inaczej p l e z o a l e k t r o n i k a jest d z i a ł e m e l e k t r o n i k i zajaujęcyn się p o d z e s p o ł a m i i u kład a m i , w k t ó r y c h Jeet w y k o r z y s t y w a n y e- fekt p i e z o e l e k t r y c z n y . T y p o w e p o d z e s p o ł y p i e z o e l e k t r y c z n e , t a kie Jak:

przetworniki, rez on a t o r y , filtry 1 g e n e r a t o r y sę ob e c n i e s z e r o k o s t o s o w a ­ ne w u r z ę d z o n i a e h el ekt r o n i c z n y c h . O p t o e l e k t r o n i k a r o z w i j a ł a się w r a z z optykę ś w i a t ł o w o d o w e , która stw o r z y ł a m o ż l i w o ś c i r e a l i z a c j i ł ę c z n o ś c i przy użyciu ś w i a t ł o w o d ó w z w y k o r z y s t a n i e m ś w i at ł a las e r ow e g o . U ż y c i e ś w i a t ł o w o ­ dów do p r z e s y ł a n i a inf o r m a c j i w y w o ł a ł o z a p o t r z e b o w a n i e na e l e m e n t y p o zw B - lajęce p r z e t w o r z y ć s y g n a ł y e l e k t r y c z n e na ś wietlne, a tym s amya n a k ł e d a - Jęce i n f o r m a c j ę na w i ę z k ę leserowę. E l e m e n t a m i s t a n o w i ę c y a l p o d s t a w o w e podzespoły linii ś w i a t ł o w o d o w y c h sę m o d u l a t o r y światła, deflektory, s p r z ę ­ gacze i izolatory. W tych e l e m e n t a c h p o d s t a w o w e z n a c z e n i e maję m a t e r i a ł y p i e z o e le ktryczne o d o b r y c h w ł a s n o ś c i a c h o p t y c z ny c h. E l e m e n t y p i e z o o l e k - troniczna i o p t o e l e k t r o n i c z n e mogę być b u d o w a n e w o p a r c i u o m o n o k r y s z t a ł y pi ez o e lek tryczne, kt ó r y c h cena, a t a kże koszt p r e c yz y j n e j o b r ó b k i sę w y ­ sokie. O s t a t n i o c o r a z częściej p ł y t k i m o n o k r y s t a l l c z n e z a s t ę p u j e się s i l ­ nia s t e k B t u r o w a n y m l w a r s t w a m i p e l i k r y s t a l i c z n y m i . Z d e c y d o w a n i e n a j l e p s z y ­ mi sę w tych z a s t o s o w a n i a c h ci e n k i e w a r s t w y ZnO. P o d s t a w o w ę w ł a s n o ś c i ? ZnO w y k o r z y s t y w a n a w ak u s t o - 1 o p t o e l e k t r o n i c e Jest p i e z o e l e k t r y c z n o ś ć , z którę zw i ę z a n a Jest gen e r a c j a fal s p r ę ż ys t yc h . R ó w n a n i a (i) i (2) p r z e d ­ stawiaj? t e n s o r o w y z a p i s p r o s t e g o i o d w r o t n e g o e f e k t u p i e z o e l e k t r y c z n e g o : i. w s T ąp

P i " d ij kT J k ' (1)

8j k “ d i j h 8 i*

(

2

)

(2)

6 4 A. K r z e a i ń s k i

gdzie:

P. - s k ładow e wektora pola r y z a c j i ele k t ry c zn e j , - s k ła dow e w ektora n a tę że n i a pola elek t r y c z n e g o , - s k ładow e tensora naprężeń,

- s k ładow e tensora odks zt a łc e ń ,

"jjk - s k ł ado we tensora a o d u ł ó w p i e z o e l e k t ry c z n y c h .

W p os taci aacierzowej równania te pr z y j a u j ę postać (3 ) i (4) [i] :

P i ' d ijT j *

S j - d ijE i-

(3)

(4)

U w z g l ę d n i a j ę c syaotrię k r yształ u Z n O (kryształ k l a s y 6 aa) u z y s k u j e się k o l e jnę r e dukcję liczb n i e z a l e ż n y c h za iennych, e a a c i e r z a o d u ł ó w p i e z o e ­ l e k t r y c z n y c h aa postać (5 ):

15

d 31 d32 d 33

24 (5)

Z n O Jest b e r d z o wy g o d n y a a a teri ał e a , p o n i e w a ż istnieję tylko trzy n i e z a ­ l e ż n e a o d u ł y p i e z o e l e k t r y c z n e , tj. a o d u ł y p dłużne d 31 » d j 2 , d J3 oraz a o d u ł y p o p r z e c z n e d24 " d 15* W y n i k a stęd że p o l e e l e k t r y c z n e p r z y ł o ż o ­ ne w z d ł u ż osi C (x3 ) i z w i ę z a n e z ao d u ł e a d J3 w y w o ł u j e p o d ł u ż n e o d k s z t a ł ­ c e nie S 3 , Jak pok a z u j e rys. la [2] . P o na d t o od k s z t a ł c e n i a p o d ł u ż n e S1 i S j p o w st aję w p o w i ę ż e n i u z a o d u ł a a i d 31 1 d 32 p r z e z p o l e Ej. F a l e p o p r z e c z ­

ne aogę być w z b u d z a n e w no- no k r y s z t a l e Z n O p r z e z pole E|| , co i l u s t r u j e rys. Ib.

Z p o w y ż s z y c h r o z w a ż a ń w y n i k a , ż e w a r s t w a a i l n i s s t e k s t u r o w a n a w k i e ru n k u

[001] p o z w a l a na efek t yw n ę g e n e r a c j ę fal p o d ł u ż n y c h , a w k i e r u n k u [lOÓ] - p o p r z e c z ­

nych.

2. E K S P E R Y M E N T

W a r s t w y Z n O o t r z y a y w e n o aa todę r o z p y l a n i a w polu w y s ok iej c z ę s t o t l i w o ś c i p rzy u ż yc i u u r z ę d z e n l a w y k o n a n e g o z n s p y l a r k i N a - 5 0 1 o raz gene r a t o r a w.cz. o a o c y 1 kW i c z ę s t o t l i w o ś c i 2 7 , 1 2 MHz. Z p u n kt u w i d z e n i a z a s t o s o w a ń w akus t o- 1 o p t o e l e k t r o n i c e n a j bardziej inte- Rya. 1. G e n e r a c j e fal spręż y s t y c h w war-

ot wach Z n O

a) fal p o d ł u ż n y c h , b) fal p o p r z e c z n y c h

(3)

resujące sę w a r s t w y s i l n i e s t e k a t u r o w a n e w k i e r u n k a c h [ooi] lub [lOO| . W zwięzku z tym ba d a n i a s k o n c e n t r o w a n o na o k r e ś l e n i u p a r a m e t r ó w p r o c e s u rozpylania u m o ż l i w i a j ą c y c h u z y s k a n i e t a ki c h w a r st w . W y k o n a n o s z e r e g p r o ­ cesów ro zp y l a n i a w a r s t w Z n O przy r ó żn y c h p a r a m e t r a c h na p o d ł o ż u 'Cor n i ng 7059", o t r z y m u j ą c w a r s t w y o różnej s t r u k t u r z e k r y s t a l o g r a f i c z n e j . S t r u k ­ turę w a r s t w o k r e ś l a n o za p o m o c ą d y f r a k t o m e t r u r e n t g e n o w s k i e g o ORCN 1,5 stosujęc u p r o s z c z o n ą m e t o d ę figur b i e g u n o w y c h [3}. S t w i e r d z o n o , że d o b i e ­ rając o d p o w i e d n i o w a r t o ś c i c i ś n i e n i a g a z ó w r o z p y l a j ą c y c h (Ar + 0 2 ), m o c y rozpylenia i t e m p e r a t u r y p o d ł o ż a o o ż n a u z y s ka ć w a r s t w y c a ł k o w i c i e s t e k ­ sturowane w k i e r u n k a c h [ooi] lub [lOÓ] , co i l u s t r u j e rys. 2.

I ' I.1,; t j II M 1 ! ! ! ! | ! ;:

Rys. 2. R e n t g e n o g r a m y w a r s t w Z n O o t r z y m a n y c h p r z y ró ż n y c h p a r a m e t r a c h pro­

cesu r o zp y l a n i a

o) p « 1,3 P, T « 4 5 0 K, P - 1 50 W, b) p ■ 1 ,3 P, T - 4 5 0 K, P - 2 0 0 W c) p « 1,3 P, T - 4 5 0 K, P - 2 5 0 .W

w d o b orz e o d p o w i e d n i c h p a r a a e t r ó w k o r z y s t a n o z n a k r o s k o p o w e j teorii k o nd ensacji clo n k l c h w a r s t w w z a s t o s o w a n i u do Z n O [4] . I l o ś c i o w e o k r e ś l a ­ nie z a l e ż n o ś c i t e k s t u r y w a r s t w Z n O o d tych p a r a m e t r ó w o k a z a ł o się n i e m o ż ­ liwe. D o p i e r o w p r o w a d z e n i e k o l e j n e g o p a r a m e t r u j a k i m J e s t s z y b k o ś ć k o n ­ d ensacji p o z w o l i ł o na dość ś c i s ł e p o w i ą z a n i e o r i e n t a c j i w a r s t w Z n O z tą w i e l ko ś cią [s] . Z a l e ż n o ś ć o r i e n t a c j i [ooi] i [100J od s z y b k o ś c i k o n d e n s a ­ cji, t e m p e r a t u r y p o d ł o ż a 1 c i ś n i e n i a g a z ó w r o z p y l a j ą c y c h p r z e d s t a w i a rys.

3. Po u z y s k a n i u w a r s t w o o d p o w i e d n i c h w ł a s n o ś c i a c h s t r u k t u r a l n y c h z m i e ­ rzono ich w s p ó ł c z y n n i k i s p r z ę ż e n i a e l e k t r o m e c h a n i c z n e g o , w tya celu w y k o ­ nano p r z e t w o r n i k i p i e z o e l e k t r y c z n e z Z n O na p r ę t a c h m o n o k r y s t a l l c z n y c h A IjjOj, B G O , Y A G i innych [6], G e n e r a c j ę fal s p r ę ż y a t y c h w z a k r e s i e 0,4- -2,4 G H z s p r a w d z o n o w u k ł a d z i e m i k r o f a l o w y m , k t ó r e g o s c h e m a t blokowy p r z e d ­ stawia rys. 4.

(4)

66 A. K r z e a i ń s k i

n) ' W

5,0 ł-\.

o;

'ffll 7.0 6,0, 5.0

500 TIKI

p = 2 P

500

p .- y p L ^

• " s

3 00 <00 500 TIK I Rys. 3. O r i e n t a c j a w a r s t w Z n O w z a l e ż n o ś c i od p a r a m e t r ó w

pr o c e s u r o zpy lanie

* o r i e n t a c j a w k i e r u n k u B.OOD o o r i e n t a c j a w k i e r u n k u COOl]

x brak wyróż n i o n e j o r i e n t a c j i

G e n e r a t o r s yg n a ł o w y w.cz. (l) m o d u l o w a n y Jest i n p u ls a n i p r o a t o k ę t n y a i o czasie trwania 0 , 3 -1 ^.s i c z a s i e pow t a rz a ni a 25 0 a ż g e n e r a t o r a m o d u l u j ę c o g o (6).

Sy g n a ł w.cz. o c z ę s t o t l i w o ś c i fa p o d a w a ­ ny J est na linię o p ó ź n i a j ę c ę (2), z k t ó ­ rej p r z e z s p rz ę g a c z k i e r u n k o w y (3), do k tó r e g o d o p r o w a d z o n y jest i m p u l s z gene­

ratora h e t e r o d y n o w e g o (7) o c z ę s t o t l i w o ­ ści f - 3 0 MHz, d o s t a j e się na diodę n i es z a j ę c ę w z m a c n i a c z a (30 M H z ) , a na­

s t ęp n i e na os c yl o s k o p (5). U z y s k a n e os- c yl o g r s m y dla r ó ż n y c h m a t e r i a ł ó w p r z e d ­ staw ia rys. 5.

P o r ów n u j ę c z m i e r z o n e c h a r a k t a r y e t y k i tłum ie n i a z t e o r e t y c z n y m i (rys. 6), ob­

l ic z o n y m i na p o d s t a w i e u k ł a d ó w z a s t ę p ­ czych p r z e t w o r n i k a [7], o k r e ś l o n o w s p ó ł ­ c z y n n i k s p rz ę ż e n i a e l e k t r o m e c h a n i c z n e g o , k t ó r y dla fal p o d ł u ż n y c h w y n o s i ł k t »0,24, co s t a n o w i o ko ł o 8556 w a r t o ś c i k { dla mo­

no kr y s z t a ł u Z n O ( k t ■ 0,28).

Rys. 4. U k ł a d m i k r o f a l o w y do g e n e r a c j i fal s p r ę ż y s t y c h w z a k r e s i e 0 , 4 - 2 , 4 G H z

1 - g e n e r a t o r s y g n a ł o w y G4-76A, G4-50, 2 - g e n e r a t o r m o d u l u j ą c y G5-15, 3 - g e n e r a t o r I m p u l s ó w p r o a t o k ę t n y c h PGP-4, 4 - r e z o n a t o r z próbkę, 5 - e z ę s t o i c i o m i e r z , 6 - g e n e r a t o r h a t a r o d y n o w y G4-76A, 04-50, 7 - d i o da m ie ­

s z a j ą c a , 8 - w z m a c n ia c z, 9 - o s c y l o s k o p

W y t w o r z o n o także p r z e t w o r n i k i do g e n e r a c j i fal p o w i e r z c h n i o w y c h ,a n a s t ę p ­ nie w u kł a d z i e m i k r o f a l o w y m (rya. 7) z m ie r z o n o c h a r a k t e r y s t y k i dyspersji p r ę d k o ś c i fazowej i grupowej akus ty c zn e j fali R a y l e i g h a (rys. 8). N at o ­ miast na rys. 9 p r z e d s t a w i o n o z a l e ż n o ś ć e f e k t y w n e g o w s p ó ł c z y n n i k a s p r z ę ­ żenia e l e k t r o m e c h a n i c z n o g o k ^ o d zn o rm a l i z o w a n e j g r u b o ś c i w a r s t w y kh, g dzie k » 23V j , J e » i w e k t o r e m falowym a h - g r u b o ś c i ? w a r s t w y ZnO.

(5)

Rys. 5. O s c y l o g r a m y e c h o i n p u l a ó w fal p o d ł u ż n y c h u z y s k a n y c h p r z y c z ę s t o ­ t l i w o ś c i 1 G H z w r ó ż ny c h m a t e r i a ł a c h

a) rubinie , b) szafirze, c) tlenku g e r m a n o w o - b i z a u t o w y m

Dla z a s t o s o w a ń w o p t o e l e k t r o n i c e w a r s t w y Z n O o p r ó c z d o b r y c h w ł a s n o ś c i pie z o e l ek try cznych p o w i n n y m i e ć d ob re w ł a s n o ś c i o p t y c z n e , tj. w s p ó ł c z y n ­ nik t ł u m ienia ś w iatł a l a s e r o w e g o o X » 6 3 2 8 X m n i e j s z y o d 2 0 dB/cm. A b y uzyskać takę t ł u m i e n n o ś ć n a l e ż a ł o tak d o brać p a r a m e t r y p r o c e s u rozpylania, aby uzyskać Jak n a j m n i e j s z y średni kęt d e w i a c j i o s i „ C k r y s t a l i t ó w [V] . Przy k ęcie d e w i a c j i 5° u z y s k a n o t ł u m i e n n o ś ć w a r s t w Z N O m n i e j s z a od 10 dB/cm. T ł u m i e n n o ś ć o k r e ś l a n o m e t o d ę o p ar t ą na p o m i a r z e n a t ę ż e n i a ś w i atła r ozproszonego w z d ł u ż świ atł o w o d u , w y k o r z y s t u j ą c u k ł a d p r z e d s t a w i o n y na rys. 10.

W i e l e k o n s t r u k c j i p o d z e s p o ł ó w o p t o e l e k t r o n i c z n y c h w y m a g a s p r z ę ż e n i a światłowodów w a r s t w o w y c h z Z n O ze ś w i a t ł o w o d a m i d y f u z y j n y m i . W z w i ą z k u z tym p r z e p r o w a d z o n o p r ó b y t akich sp r z ę ż e ń w r ó ż n y c h u k ł a d a c h . P o z y t y w n a wy-

(6)

68 A. Krzes i ńs k i

U [ d B ]

no

100

80

60

40

20

V o.is — k f - 0 . 1 t---

kf-021--- kf-ąjt

k,-0,27

---

S - 0 , S m m * fr-2 GHz

Z n O b u Cr A l Ą iOfim O,i}00l [fun]

I 1

...

1

; p

1 111

iM l WU L l

%

~ #

f

#

' //

| /

/

...

0,5 iO

1.5

2,0

X

Rya. 6. Z m i e r z o n e i t e o r e t y c z n e c h a r a k t e r y s t y k i t ł u m i e n i a p r z e t w o r n i k ó w Z n O

Rya. 7. U k ł a d m i k r o f a l o w y do p o m i a r u p r ę d k o ś c i a k u s t y c z n e j fali p owierzch­

niowej

1 - g e n e r a t o r fali ciągłej, 2 - g e n e r a t o r i m p u ls o w y , 3 - g e n e r a t o r i m pu l ­ sów p r o a t o k ę t n y c h , 4 - układ w z m a c n i a j ą c y , 5 - badana próbka, 6 - o s c y l o ­

skop, 7 - l icznik c z ę s t o t l i w o ś c i , 8 - l i cz n i k o k r e s u c z asu

(7)

2500

-

Rys. 8. K r z y w e d y s p e r s j i prę d k o ś c i fazowej (górna k rz ywa) i p r ę d k o ś c i gru­

powej (dolna krzyw a ) k - 23C/&.

<ef ['/•]

h - g r u b o ś ć w a r s t w y Z n O

Rys. 9. Z a l e ż n o ś ć e f e k t y w n e g o w s p ó ł c z y n n i k a s p r z ę ż e n i a e l e k t r o m e c h a n i c z ­ nego k ef; od z n o r m a l i z o w a n e j g r u b o ś c i w a r s t w y kh

Rys. 10. S c h e m a t u k ł a d u do p o m i a r u t ł u m i e n i a światła l a ­ se r o w e g o w ś w i a t ł o w o d a c h pla­

n a r n y c h

1 - ś w i a t ł o w ó d , 2 - podłoże, 3 - g o n l o m e t r , 4 - l aser He-No, 5 - m o d u l a t o r m e c h a n i c z n y , 6 - pryz m a t s p r z ę g a j ę c y , 7 - f o t o p o w i e l a c z , 8 - w z m a c n i a c z se l ek t y w n y , 9 - r e j e s t r a t o r XY

(8)

70 A. K r z e s i ń a k i

G-) warjtwa ZnO ^

światłowód

I i

podtoie

I

szklane

J - '" ' I

l I

l_________________ 1 I_________________ i

Rys. 11. S p r z ę g a c z e ś w i a t ł o w o d ó w Z n O za ś w i a t ł o w o d a m i d y f u z y j n y m i

nikł u z y a k a n o s p r z ę g a j ę c ś w i a t ł o w o d y z Z n O z e ś w i a t ł o w o d a m i dyfuzyjnyal w y k o n s n y a i w p o d ł o ż o w y m s z k l e s o d o w o - w a p n i o w y m w u k ł a d a c h j a k na rys. 11.

3. P O D S U M O W A N I E

Na p o d s t a w i e p r z e p r o w a d z o n y c h b a d ać w ł a s n o ś c i c i e n k i c h w a r s t w ZnO, wy­

t w or zonych m e t o d ę r o z p y l a n i a w.cz. w e d ł u g o p r a co w a n e j t e c h n o l o g i i , m o i m s t w ie r d z i ć ich z n a c z n ę w a r t o ś ć dla r ó Z n yc h z a s t o s o w a ć w n a u c e i technice.

W p i e z o e l e k t r o n i c e w a r s t w y te, z e w z g l ę d u na w y s o k i w s p ó ł c z y n n i k sprz ęż e ­ nia e l e k t r o m e c h a n i c z n e g o , mogę być z a s t o s o w a n e w l i n i a c h o p ó ź niajęcych,r>

z o n a t o r a c h i fi l t r a c h w y k o r z y s t u j ę c y c h z a r ó w n o p r z e t w o r n i k i p i e z o e l e k ­ t r y c z n e Z n O fal o b j ę t o ś c i o w y c h , jak i p o w i e r z c h n i o w y c h [ a , 9, 10] .

W o p t o e l e k t r o n i c e w y k o r z y s t u j e s i ę g ł ó w n i e takie w ł a s n o ś c i w a r s t w ZnO, jak: efekt e l e k t r o o p t y c z n y i a k u s t o o p t y c z n y , a takZe m a ł ę t ł u a i e n n o ś ć ś*dt tła l a aerowe go. P r z y k ł a d o w e k o n s t r u k c j e p o d z e s p o ł ó w o p t o e l e k t r o n i c z n y c h wf k o r z y s t u j ę c y c h w a r s t w y Z n O z a r ó w n o do g e n e r a c j i fal s p r ę ż y s t y c h , j a k 1 do p r o p a g a c j i ś w i a t ł a l a s e r o w e g o p r z e d s t a w i a j ę rys. 12 1 13.

H t Y Z H Ą T

/ w m o w y

Ht7l7WO**IX nlęurnuc/Airy

Rys. 12. E k s p e r y m e n t a l n a k o n s t r u k c j a

u r z ę d z e n i a do k o n w e r s j i m o d ó w TE TM Rys. 13. E k s p e r y m e n t a l n a konstruk­

cja u r z ę d z e n i a do d y f r a k c j i Sraggi w ś w i a t ł o w o d a c h Z n O

?°U T O n S f f ^ C 2 * °

W/ĄJJCA R u m o w y

PADAJĄCA WIĄZKA

U&fTA

NEUGlE TA

P R Z f t w o ą m K Ą ł O J s r y a j J Y c * f a l P o w t c M u i -

U.OWY Ci

r r > Y -— -u— wtfSTUĄ 7ni

pootPie-

X

KWARC.

--- ^

ELSKTkODj

Tofiieur H/ęozypMcMiir

(9)

LITERATURA

[1] Nye 3 . F . : W ł a s n o ś c i fiz y c z n o k r y s zt a ł ó w. PWN, W a r s z a w a 1962.

[2] de K l e r k 0.: U l t r a s o n i c s , 1970, t, 8, s. 159.

[3] L e h m a n H.W. , W i d m e r R. : 3. Appl. Phya. , 1973, t. 44, s. 3868, [4] K o ó czak S., K r z e e i ń s k i A .: T h l n s o l i d F i l ms , 1981, t. 85, s. 276.

[5] K r z e a i ń a k i A.: I Konf. Nauk. T E C H N O L O G I A E L E K T R O N O W A , W r o c ł s w - K a r - pacz, 1980, ss. 283-285.

[6] K r z e m i ń s k i A. : P r a c a doktorsk a . W r o c ł a w 1980.

[7] K o ń c z a k S. K r z e s i ń s k i A. : l-at N a t i o n a l A u t u m n on P h y s i c s of T h i n Films. S z c z y r k 1979, Mat. s. 58.

[s] H i c k e r n e l l F.S. : P r o c e e d i n g s of IEEE, 1976, t. 64, s. 631.

[9] A r l m o t o Y. , M o r i i z u m i T. , Y s u d a T. : A ppl. Phys. L e t t . , . 1977, t. 31, s. 63.

[lo] N a k a g a w a Y. : Appl. Phys. Lett., 1977, t. 31, s. 56.

fill] S a s a k i H. , K u s h l b l k l 3., C h u b a c h l N. : Appl. Phye. Lett., 1 974, t. 25 a. 476.

[12] K u s h l b l k l 3., S a a a k i H. , C h u b a c h l N. , M i k o s h l b e M. , S h i b a y a m a K. t Appl. Phys, Lett., 1975, t. 26, a. 362.

R e c e n z e n t : Ooc. d r hab. S ł a w o m i r K a ń c za k

Wpłynęło do R e d a k c j i : w r z e s i e ń 1 983 r.

TEXHOJIOrHa T O H K K X IUIEHOK M 3 Z n O AJI3 HT H ME K E H H # B AKY C T O 3JTSKIPOHMKE H 0IIT03JIEKTPOHHKE

P e a »3 u e

B

c t s t h npeaoiaB zeH O H eK oiopue CBoftoiBa n ie3 o szaK T p in ecK K i naenoK

ZnO,

nozy^tema: m btoaom zoH H oro p ao n u ze iraa b n o ra e dozbm oa 'ta c T o m .

C

a r m

n z eaox

ozezaao riinpo3ByKOBiie npeoS pa30B arejtK aK yciK ^ecK nz bo zh

z

axycTOonTH^ecKHe yoipoficT B a.

THE T E C H N O L O G Y OF Z n O T HI N F I L M S FO R A C O U S T O E L E C T R I C AND E L E C T R O O P T I C D E V I C E A P P L I C A T I O N S

S u m m a r y

The p ape r p r e s e n t s the r e s u l t s of i n v e s t i g a t i o n s of the effe c t of t echnological p a r a m e t e r s on the s t r u c t u r e of thin Z n O films. Z n O p i e z o ­ electric films h a v e beerv^mpplied to u l t r a s o n i c ds v i c e s for bulk a c o u s t i c waves ss w e l l as s u r f a c e a c o u s t i c waves.

Cytaty

Powiązane dokumenty

Otolaryngologiczne implanty (Bioaktywne szkła, bioaktywna szkło- ceramika, bioaktywne kompozyty). Rekonstrukcja szczękowa (Bioaktywna

lub adhezyjnych L c2. Jedną z bardziej typowych form niszczenia kohezyjnego są pęknięcia powłoki w kierunku prostopadłym do kierunku ruchu wgłębnika. Występujące

Częściowym wytłumaczeniem większego poziomu naprężeń rozciągających w warstwach MCD może być obecność dobrze rozróżnialnych krystalitów o ukierunkowaniu

The changes in absorption spectra indicated that in the presence of polar solvents (DMF, DMSO), a meso- meric form of a corrole possessing NO 2 group and deprotonated forms of

Growth modes of LT ZnO, ZnMnO and ZnCoO layers All investigated ZnO and ZnTMO samples were polycrys- talline and showed a columnar growth, with columns oriented along the c-axis,

Jak już wcześniej wspomniałam, warstwy otrzymane powyżej 320 stopni Celsjusza różniły się od tych otrzymanych w niższych temperaturach. Jak wynika z podanej

Autorzy w niniejszej pracy wykonali badania metodą mikroskopii sił atomowych (AFM NT-MDT Ntegra Spectra C – Rys.1.) cienkich warstw SnO 2 otrzymanych w

Warstwy ditlenku cyny trawione przy użyciu względnie wysokich mocy generatora (450W, 550W) i 15 minutowego czasu ekspozycji, osiągnęły zniko- me grubości w zakresie od 0,6nm