Cienkie warstwy LaCoO3 i LaFeO3 osadzono na Si tetragonalnych podłożach T i
YSZ-C o strukturze regularnej przy użyciu metody PLD. YSZ-Celem było wytworzenie cienkich warstw nanokrystalicznych czułych na NO2. Cienkie warstwy osadzone na YSZ użyte były jako warstwa gazczuła w czujnikach elektrochemicznych i rezystancyjnych. Cienkie warstwy zbadano za pomocą XRD, SEM, AFM, XPS, TEM w połączeniu z EDS. Temperatura osadzania 850 0 C doprowadziła do wytworzenia jednofazowych
nanokrystalicznych cienkich warstw, z małą liczbą kropel na powierzchni i bez pęknięć. Cienkie warstwy LaCoO3 i LaFeO3 mają zakładana strukturę. Są niestechiometryczne,
o wzorze chemicznym LaM0,8O3-δ. Płaszczyzny krystalograficzne wystawione na działanie gazu {101 }o = {001 }c dla LaFeO3 i {2-10}H = {101 }c dla LaCoO3 na C-YSZ.
Cienkie warstwy LaFeO3 wykazały bardzo wysoką czułość na NO2, nawet
w temperaturze otoczenia, a także selektywność względem NH3 i CO. Cienkie warstwy
LaCoO3 słabo reagowały na NO2. W czujnikach elektrochemicznych LaFeO3 na podłożu
T-YSZ charakteryzował się dobrymi wynikami, otwierając pole dla nowych czujników elektrochemicznych na elastycznych podłożach.
Thin films of LaCoO3 and LaFeO3 were deposited on Si, YSZ cubic and YSZ tetragonal
substrates, using Pulsed Laser Deposition. The aim was to produce nanocrystalline thin films sensitive towards NO2. The thin films deposited on YSZ were investigated as sensing electrode in chemical and electrochemical sensors. The thin films were characterized by XRD, SEM, AFM, XPS, TEM coupled with EDS. A deposition temperature of 850°C led to single phased nanocrystalline thin films, with a low number of droplets on the surface, and without cracks. The thin films LaCoO3 and
LaFeO3 have respectively rhombohedral and orthorhombic structures. They are non-
stoichiometric, with a chemical formula LaM0,8O3-δ. The crystallographic facets exposed to the gas are {101 }o ={001 }c for LaFeO3 and {2-10}H ={101 }c for LaCoO3, on
C-YSZ. The LaFeO3 thin films showed very high sensitivity to NO2, good response even
at ambient temperature as well as selectivity towards NH3 and CO. LaCoO3 thin films
weakly reacted to NO2. In electrochemical sensors, LaFeO3 on T-YSZ substrate had
good performances, opening the field for new electrochemical sensors on flexible substrates.
