W pracy zaproponowano modyfikację metody wykorzystującej prądy wirowe do pomiaru rezystancji cienkich warstw przewodzących. Obiektem badań były powłoki nanoszone na podłoże szklane z przeznaczeniem do zastosowań w budownictwie. Zaproponowana metoda pozwala na wykonywanie pomiarów w wybranych punktach wielkoformatowej tafli szklanej bez uszkodzenia warstwy wierzchniej. Opracowano procedury badawcze oraz sposób obliczania impedancji warstwy na podstawie krzywych rezonansowych. Ponadto autor zaproponował sposób weryfikacji uzyskanych wyników badań modelowych za pomocą odpowiednio ukształtowanych warstw testowych. Przeprowadzono także obszerną analizę błędów i niepewności metody pomiarowej w odniesieniu do wyników uzyskiwanych w ramach modelowania, jak również rzeczywistych pomiarów. Praca czujnika pomiarowego w rezonansie szeregowym zapewnia dużą czułość oraz wzrost odporności urządzenia na zakłócenia pochodzące od czynników zewnętrznych, co jest niezmiernie ważne w przypadku wykorzystywania przyrządu w warunkach przemysłowych. Zaprojektowany i wykonany układ pomiarowy umożliwia oddalenie czujnika pomiarowego od mierzonej cienkiej warstwy na odległość do 5 mm, a w przypadku warstw o większych przewodnościach nawet do 20 mm. Uzyskane rezultaty badań potwierdziły przyjętą wstępnie tezę pracy oraz przydatność opracowanej metody do pomiaru rezystancji cienkich warstw przewodzących uzyskiwanych technikami jonowymi.
The method for non-touching measure of resistance of current-conductive thin coatings.
Abstract: The paper proposes a modification of the method using eddy currents to measure the resistance of thin layers of conductors. The object of research is the coating of glass substrate for use in construction. The proposed method allows performing measurements at selected points in large glass panes without damage layer. Developed test procedures and way how to calculate the impedance of a layer base on resonance curves. In addition, the author has proposed a means to verify the results obtained by means of model tests specifically shaped layers test. An extensive analysis of errors and methods of measurement of uncertainty with regard to the results obtained in the modeling were also carried out, as well as actual measurements. The sensor working in serial resonance provides high sensitivity and an increase in the resistance to interference from external factors, which are extremely important for the use of the equipment in industrial conditions. Designed and manufactured measurement system allows you to move the sensor away from a thin layer to a distance of 5 mm, and in the case of layers with high conductivity up to 20 mm. The obtained results confirmed assumptions of the pre-thesis work and the usefulness of the method developed to measure the resistance of thin layers derived from ion technologies.
