Prace naukowe podjęte w ramach niniejszej rozprawy skupione były na rozszerzeniu możliwości analitycznych rentgenowskiej fluorescencyjnej mikroskopii konfokalnej. Realizowane były one w dwóch kierunkach. Pierwszy nich skoncentrowany był na technicznych aspektach rentgenowskiej mikroskopii fluorescencyjnej oraz rentgenowskiej fluorescencyjnej mikroskopii konfokalnej. Jego celem było skonstruowanie laboratoryjnego mikroskopu rentgenowskiego zdolnego do obrazowania próbek w dwóch i trzech wymiarach oraz wytworzenie oprogramowania sterującego pomiarem i akwizycją danych w środowisku programistycznym LabVIEW.
Drugi kierunek badań miał na celu udoskonalenie procedur analizy ilościowej dla układów wielowarstwowych badanych za pomocą rentgenowskiej fluorescencyjnej mikroskopii konfokalnej. W ramach tych prac opracowano metodę profilowania głębokościowego składu pierwiastkowego w próbkach warstwowych poprzez bezpośrednią dekonwolucję sygnału próbkowanego na różnych głębokościach w próbce. Proponowana metoda profilowania głębokościowego składu pierwiastkowego została zweryfikowana eksperymentalnie poprzez analizę materiałów wielowarstwowych o znanym składzie i strukturze - przeprowadzono eksperymenty zarówno z użyciem promieniowania monochromatycznego jak i polichromatycznego. Przeprowadzone eksperymenty udowodniły dokładność i precyzję opracowanej metody.
The scientific work undertaken in the framework of this dissertation was focused on the extension of the analytical capabilities of laboratory based X-ray fluorescence confocal microscopy. There were two main goals of this work. The first one was focused on development of laboratory table-top micro- beam X-ray fluorescence spectrometer. This objective involved setting up the system based on commercially available components as well as the development of integrated control software for 2D and 3D imaging. The second objective was aimed at improving fundamental parameter based quantification procedure for confocal X-ray fluorescence microscopy examination of stratified materials. As part of this work, a method of depth profiling of elemental composition of the samples through direct deconvolution of signal sampled at different depths in the sample was elaborated. Proposed method was verified experimentally by analysis of the composite materials of known composition and structure. Experiments were conducted using both monochromatic and polychromatic excitation. Experiments have proven the accuracy and precision of this method .