Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice

Pełen tekst

(1)Irena Zubel. .V]WDáWRZDQLHVWUXNWXUSU]HVWU]HQQ\FK w krzemie PHWRGWUDZLHQLDDQL]RWURSRZHJR GR]DVWRVRZDZPLNURHOHNWUonice. Oficyna Wydawnicza Politechniki WURFáDZVNLHM WURFáDZ 2004.

(2) Recenzenci Keshra Sangwal Jerzy Zdanowski. Redaktor Alicja Kordas Korekta Alina Kaczak. Zofia i Dariusz Godlewscy.

(3) . ISBN 83-7085-823-6 OFICYNA WYDAWNICZA P !"# $%!&! ' ()*KIEJ * + ,--+ .

(4)

(5) 710/2004.

(6) Spis rzeczy. ........................................................................................................................... 5 *

(7) ................................................................................................ 5

(8)

(9) ..................................................... 9 1.1. Fizykochemiczne

(10)

(11) a ................................... 10 1.2.

(12)

(13) zczyzn krystalograficznych ....................................................................... 11

(14) emu......... 22. 2. Anizotropia trawienia krzemu w roztworach alkalicznych ..................................... 2.1. Roztwory do anizotropowego trawienia krzemu ............................................. 2.2. Molekularny opis trawienia krzemu w roztworach alkalicznych..................... 2.3. Kinetyka trawienia krzemu w roztworach alkalicznych .................................. * ......................................... ............................... ..................................................................... 2.5.2. Metoda podtrawiania maski ................................................................... 2.5.3. Metoda trawienia sfery .......................................................................... 2.6. Zastosowanie modeli anizotropowego trawienia krzemu do wyznaczania szybko trawienia.......................................................................................... hkl).......................................... 2.6.2. Trawienie anizotropowe w skali atomowej ........................................... 2.6.3. Model t [110].............. [100].............. ....................... 2.7. Modele trawienia anizotropowego stosowane do symulacji trawienia ............ 2.7.1. Modele geometryczne............................................................................ 2.7.2. Modele atomistyczne ............................................................................. 2.7.3. Modele kinematyczne ............................................................................ 3. Charakterystyka anizotropowego trawienia krzemu w wybranych roztworach alkalicznych ............................................................................................................ krzemu w wybranych roztworach alkalicznych ...................................................................................................... !

(15) " #

(16) " $ .

(17) %

(18)

(19)

(20) &

(21)

(22) % $

(23)

(24) %" ' ( (

(25)

(26)

(27)

(28) . )

(29) . 28 29 31 34 39 43 44 46 51 53 55 60 62 66 68 71 72 77 81 89 89.

(30) 4. * ! trawienia Si (hkl) w wodorotlenkach nieorganicznych i w roztworach TMAH .......................................................................... 91 ! * (hkl)......... 95 ( (*

(31) l ! * (hkl) ......106 )

(32)

(33)

(34) anizotropowego................................................................................................109 + !

(35) * (100) trawionych w wybranych roztworach alkalicznych ...........................................................................................110 3.2.2.

(36)

(37) !

(38) * & ,,- ..115 3.2.3. + !

(39) * (hkl) trawionych w roztworach KOH i KOH+IPA............................................................................................119 * !

(40)

(41)

(42) &hkl-

(43) . na powierzchni.................................................................................................122 4. Mikroelektroniczne struktury przestrzenne otrzymywane w wyniku trawienia anizotropowego .......................................................................................129 przestrzenne.......130 * ...........................................132 4.3. Komputerowe symulacje trawienia anizotropowego .......................................140 4.3.1. Symulacja przekrojów struktur ..............................................................141 4.3.2. Symulacja trawienia w przestrzeni dwuwymiarowej (2D) ....................143 4.3.3. Symulacja trawienia w przestrzeni trójwymiarowej (3D) .....................146. * (

(44)

(45)

(46)

(47)

(48) ) (

(49) * & ,,-. * *

(50)

(51)

(52)

(53) krystalograficznych..........................................................................................149 " ' astosowania trawienia anizotropowego.........................................156 " .

(54) *

(55)

(56) . roztworu.................................................................................................157 " .

(57) *

(58) kompensacyjne ......................................................................................158 4.5.3. Zminiaturyzowane struktury wyspowe dla mikroelektroniki * .............................................................................................161 4.5.4. Rezultaty zastosowania trawienia wieloetapowego ...............................163 * zastosowania w technice mikrosystemów. ( % $

(59)

(60)

(61)

(62)

(63)

(64) . anizotropowego................................................................................................167 Podsumowanie ............................................................................................................185 Literatura .....................................................................................................................188.

(65) :VW S S

(66)

(67) *onych

(68)

(69)

(70)

(71)

(72) jnych konstrukcji przestrzennych, wykorzystywanych w mikromechanice, optoelektronice i w mikroelektronice pró*

(73) .

(74)

(75)

(76) . *

(77) .

(78)

(79) *

(80) . * .

(81) . zo-.

(82)

(83)

(84)

(85)

(86)

(87)

(88) . to

(89) * dstawowych orientacjach: (100), (110) i (111). Konfigur o

(90)

(91)

(92)

(93)

(94)

(95) o* *

(96) wane w wielu dziedzinach mikroelektroniki. Skomplikowane konstruk

(97)

(98) precyzyjne

(99)

(100)

(101)

(102)

(103) *. *. . . . . *

(104). .

(105)

(106) . . pozwo

(107) t zwróc

(108)

(109)

(110) *

(111) orientacjach. a

(112) .

(113)

(114) . *

(115) *

(116)

(117)

(118) .

(119) * ! . oowych. Zjawisko anizotropii jest obszernie opisywane w literaturze. Istnieje wiele roz

(120)

(121) one

(122) *

(123)

(124)

(125) *

(126)

(127) oprawy ich . . . . Istota procesu anizotropo na i pozo * " .

(128) . o-. * .

(129)

(130) *

(131)

(132)

(133) . stalograficznych i – co jest bardzo istotne –. * .

(134)

(135) . ya-.

(136) :VW S. 6. " *

(137)

(138)

(139) . ky * aniczo

(140)

(141)

(142)

(143)

(144) ymi przez projektanta. #

(145) *

(146) *

(147) z-.

(148) .

(149) $ $

(150) . o.

(151) . . . *

(152)

(153) . . *. y

(154)

(155) *

(156) otrzymywanych w wyniku trawienia. Rozwój technik komputerowych pozwala bowiem na stworzenie precyzyjnych pro

(157)

(158)

(159) narzuconych przez konstruktora wzorów w postaci odpowiednich %

(160)

(161)

(162) , lecz tak*e gruntownej wiedzy o samym mechanizmie i przebiegu procesu anizotropowego roztwa

(163) *

(164)

(165)

(166) . symulacjami kom

(167)

(168)

(169) * osowane do symulacji modele trawienia anizotropowego cor *

(170) ocesu, problem jest jednak tak

(171) * symu

(172)

(173) Pomimo istnienia wspomnianych modeli ma

(174) na celu prób opisania przebiegu procesu trawienia anizotropowego, mechanizm trawienia nie jest ostatecznie wyja

(175) *

(176)

(177)

(178)

(179) trawie *

(180)

(181) *

(182) wzbogaconych o pewne

(183) trawienia. Prace nad wyja

(184) ego sterowania tym procesem oraz . * estrzennych struktur krzemowych. Przedstawi *

(185) ,

(186) * * i, &

(187)

(188)

(189)

(190) owadzi do powstawania coraz nowszych generacji skomplikowanych mikrosystemów elektromechanicznych (MEMS' wszystkich dziedzinach nauki i techniki. Za *

(191)

(192)

(193)

(194) . belkach, m

(195) " * ementami wykonawczymi i mikroprocesorami (µTAS-y) prowadzi do nowoczesnych , *

(196)

(197) ostyki, dozowania, sterowania, stosowanych w

(198)

(199)

(200)

(201)

(202)

(203) innych dziedzinach. Autorka niniejszej pracy .

(204) hnologicz

(205)

(206)

(207)

(208) w roztworach alkalicz

(209) stanu zaawansowania zagad.

(210) 1. :áDFLZRFLLVWUXNWXUDPRQRNU\V]WDáXNU]HPX

(211)

(212)

(213)

(214) * ,

(215)

(216)

(217)

(218) ek w XIX wieku. Dotyczy to jed o

(219)

(220) y

(221)

(222)

(223)

(224) w znacznie mniejszym stopniu, szczególnie na ach o nietypowych orienta * ! ! !!

(225)

(226)

(227) a*

(228)

(229)

(230)

(231)

(232)

(233)

(234) graficznych, dotychczas bowiem nie

(235) interesowania na szersz praw

(236) *

(237)

(238)

(239)

(240)

(241) "

(242) erowej umo*liwia obecnie

(243) runku, a tak*e wy

(244)

(245)

(246)

(247)

(248)

(249)

(250) aficznymi, analizy * krystalograficznych. D t *

(251)

(252) arze przypowierzchniowym, a

(253)

(254)

(255)

(256)

(257) ale). #

(258)

(259)

(260)

(261)

(262) (ie krystalograficznej. Z konstruk

(263)

(264)

(265)

(266)

(267) * z $

(268) * %

(269)

(270)

(271)

(272) Tak* w tej dziedzinie rozwój techniki kompu

(273) *

(274)

(275)

(276)

(277)

(278) z

(279) , a nie problemem samym &*

(280)

(281) przest

(282)

(283) *

(284) ograficznych w stosunku do analizowanej powierzchni. O

(285) przekrojów i rzutów stereograficznych przedstawiono w odniesieniu do krzemu. U* to krystalograficzn analiz budowy kr

(286)

(287) . ! , any sposób. Przedstawio

(288)

(289) *

(290)

(291) "

(292)

(293) *

(294) e-.

(295) . 10. mowe o odpowiedniej orientacji (zwykle (100), (110) lub (111)), stosowane w techno

(296)

(297)

(298)

(299)

(300)

(301) d z '

(302) (

(303) .

(304)

(305)

(306)

(307)

(308) bstancji z otoczenia, z bra

(309) a

(310)

(311) *

(312) * *% jedynie do analizy

(313)

(314) *

(315) *e *

(316) % *

(317)

(318) '

(319) ( u

(320)

(321)

(322)

(323)

(324)

(325) *a-.

(326)

(327)

(328) ' ( powierzchni z otoczeniem. )* . *% *

(329)

(330)

(331)

(332) znych (hkl!

(333) *

(334)

(335)

(336) trawienia w roztworach alkalicznych.. 1.1. Fizykochemiczne ZáDFLZRFL PRQRNU\V]WDáXNU]HPX Krzem, jeden z najbardziej rozpowszechnionych pierwiastków chemicznych, od

(337) ( J.J. Berzelius, 1824 r.). * .

(338) +,,-

(339) !

(340) szechnienia na Ziemi [14]. .

(341) /

(342)

(343)

(344) po * / grupie, 3.

(345) .

(346)

(347) s2 2s22p6 3s23p2

(348)

(349) –

(350) ndeksy – .

(351) !. 0 ncyjna ulega hybrydyzacji, sp3. W

(352)

(353) *

(354)

(355) *

(356)

(357) omami 1 *

(358)

(359)

(360)

(361)

(362)

(363) 2 *

(364)

(365)

(366) bna do rozerwa

(367)

(368) !

(369)

(370)

(371) * o

(372)

(373) ametry krzemu zestawiono w tabeli 1.1..

(374)

(375)

(376)

(377) a

(378)

(379) *

(380)

(381)

(382) 3

(383)

(384) ot

(385)

(386)

(387) 4

(388) % i%

(389) %

(390) *

(391)

(392)

(393)

(394)

(395) *

(396)

(397) dczas trawienia w roztworach alkalicznych. Anizotropowy przebieg procesu wi* .

(398)

(399)

(400)

(401)

(402)

(403)

(404) *

(405) a 2

(406)

(407) *4.

(408)

(409)

(410)

(411) . 11. ¾ energia powierzchniowa, ¾ energia aktywacji procesu trawienia, ¾ % ¾ koncentracja woln

(412) [14, 34, 119, 120] Parametr Liczba atomowa Masa atomowa. 4+ Koncentracja atomów w sieci Temperatura topnienia Temperatura wrzenia. ! " ! Elektroujemn #

(413)

(414) !$ Powinowactwo elektronowe M:% – Energia jonizacji M:% +. Symbol Z mat rat x4+ as ρ CL Tm Tb Wg E W – – –. Jednostka – – Å Å Å · 103 kg/m3 · 1028/m3 ºC ºC eV eV eV – kJ· mol–1 kJ· mol–1. 14 28, 09 1,17 0,26 5,43 2,33 5,00 1417 2628 1,12 1,84 4,8 1,9 133,6 786,5. Parametry te znane jedynie w odniesieniu do trzech podstawowych ! ! ! $

(415) dano w dalszej cz

(416) 3

(417)

(418) *

(419) * . * u

(420) 5

(421)

(422) .

(423) a

(424)

(425)

(426)

(427)

(428) a

(429)

(430)

(431)

(432) * bowiem ponad 100-krotnie.. .U\VWDORJUDILF]Q\RSLVVWUXNWXU\PRQRNU\V]WDáX krzePXLZ\EUDQ\FKSáDV]F]\]QNU\VWDORJUDILF]Q\FK

(433)

(434)

(435)

(436) u (A4), która w symbolice Pearsona

(437) 67

(438)

(439)

(440) !

(441) o 6!

(442)

(443) 1 %

(444) y

(445) * %

(446) * dsieci regularnych,

(447)

(448) 8/

(449) ej Elementarnym ogniwem struktury krysta

(450)

(451)

(452)

(453) *

(454)

(455)

(456)

(457) czwo-.

(458) . 12.

(459)

(460) 9/,° (rys. +!

(461)

(462) przedstawiono na rysunku 1.2.1b.. 109,47. a). o. b). Rys. 1.2.1. Struktura krystaliczna krzemu: a) podstawowe ogniwo struktury, b) komórka sieciowa (wy&*

(463) * ! $.

(464) (:. ników Millera (hkl!

(465)

(466) * i hkl) i (h k l ) jest w krystalografii oznaczana jako {hkl}. Prostopa

(467)

(468)

(469)

(470)

(471) ;hkl<

(472)

(473)

(474) =hkl> 5

(475) , (100), (110) i (111), zazna

(476)

(477)

(478) azano na rysunku ++ hkl!

(479)

(480) nków <100> i <110>, .

(481) ? @ ? @, umieszczone w komórce sieciowej pokazano na rysunku +A #

(482) yz

(483) *

(484) ony tu

(485)

(486)

(487)

(488) .

(489) gra

(490)

(491)

(492)

(493)

(494)

(495) , jak

(496) ewodnikowych [38, 116, 122, 164].. "*

(497)

(498) * . *

(499)

(500)

(501) B ecjalnych pro

(502)

(503) *

(504) %

(505)

(506)

(507)

(508) . *

(509) Na rysunku 1.2.4

(510) – opracowanego pod kierunkiem autorki – programu SiCryst, który –

(511)

(512) *

(513)

(514)

(515) – *

(516) . ( hkl) i okre

(517) ;202]..

(518)

(519)

(520)

(521) . 13. as (100). as. as (110). as 2. (111). as 2 a). b). ' '

(522) !aficzne (100), (110) i (111) w monokrysztale krzemu:. $ & eciowej krzemu #&* yznach),. $ hni.

(523) . 14 a). z. (011) (012). y. (014) x. b). z. y. (-110) ( 1 10) (110). (441). (221). x (111). ' ( (hkl$ &

(524) ! &) a) [100], b) [ 1 10]. 6

(525)

(526) ; < ; <

(527) - znaczo

(528) . hkl),

(529)

(530) (analogicznymi do pokazanych na rys. 1.2.3) przedstawiono na rysunku 1.2.5 [217]. 0

(531) zaprezentowano zaproponowan przez autor klasyfikacj * porównanie konfiguracji atomowej ró*

(532)

(533) . Klasyfikacja ta do

(534) * anizotropii trawienia krzemu [25, 198, 216, 217].. 5

(535) 4 ! ! !

(536) *

(537) na powierzchni pokazano na rysunku 1.2.6. * * wierzchni

(538) !

(539)

(540)

(541)

(542)

(543) : ! 5

(544)

(545) hni

(546) ! A..

(547)

(548)

(549)

(550) . b). c). d). Rys. 1.2.*

(551) ! ! erowego, widziana w kierunku [110]:. $ !

(552) +. b) z pochyleniem w kierunku obserwatora, c) prostopadle do obserwatora,. $ ! $ * . 15.

(553) . 16. . *

(554) !

(555)

(556)

(557)

(558)

(559) a # B. Na po

(560) !

(561)

(562) * (

(563)

(564)

(565) ! e

(566)

(567) 5

(568) C. W ten sposób zdefiniowano trzy podstawowe typy wi a). [100] (100) (140) (130) (120) (230). (110) (010) (410) (310) (210). (320). b). [110] (110) (551) (331) (221). (443) (111) (100). (511). (311) (211). (334). Rys. 1.2.5. Fragmenty sieci krzemu widziane w kierunku:. $ ,--.+ $ ,-. #hkl) [217].

(569)

(570)

(571)

(572) /012/1. [110]. 17. /012/1. [100]. zz z. z. z z. TYPU A. TYPU A. (100). (100). z. zz. z z z z. TYPU C. TYPU C. (110). (110). zzz z TYPU B. (111). a). b). ' 3 #--$+ #-$ #$ ) a) [110], b) [100] [217].

(573)

(574)

(575) hkl!

(576)

(577) ; < awiono na rysunku 1.2.7 [216, 217< ! AA! ++! !. +! A! !

(578) !

(579) B

(580) * * ( z ( !

(581) * ,

(582) o ! ! ! ( * B oznaczeniami

(583) A, B, C (rys. 1.2.7). B

(584)

(585) + B . C 3! na kolejno rozpatrywa . "*

(586)

(587) h * .

(588) % *

(589)

(590) *

(591)

(592) . e-.

(593) . 18.

(594) *

(595) systematyczne zmiany C. C. C. C. C. C. C. B. A. B. B. A. B. (211). (110). C. C. B C. C. B C. B. A. B. A. B. (331). C. C. B. B C. (311). A. C. A. A. A. A. (221). B. B. B. B. (100). B. (111). Rys. 1.2.7. 4! . Tabela 1.2. 5 (hkl) (110) (441) (331) (221) (111) (211) (311) (411) (100). #hkl) z pasa krystalograficznego [110] [216]. (hkl$ &

(596) ! ,-. [216]. 5 CCCCCCCCCCC CCBCCBCCCCB CCBCCBCCBCCB CCBBCCBBCCBB BBBBBBBBBBBB ABBABBABBABB ABABABABABAB ABABAABABABAAB AAAAAAAAAAA. Uwagi –.

(597) 6 7 –.

(598) 1 7 –.

(599)

(600)

(601)

(602) . 19. 0

(603) *

(604) * yznach (hkl)

(605)

(606) ( . A! 1 + %

(607)

(608) .

(609) ( 4 (hkl$

(610) [216] (hkl) (110) (441) (331) (221) (111) (211) (311) (411) (100). ania. Typ. 4 #hkl). C C C C. 54,74° 64,76°; 44,71° 68,00°; 41,47° 74,21°; 35,26°. A A A A. 35,26°; 54,74° (*) 35,26°; 64,76° (*) 35,26°; 70,53° (*) 35,26°; 90° (*). . Typ. 4 #hkl). B B B B B B B. 64,76° 68,00° 74,21° 90o 70,53° 60,50° 54,74°. ( ). * N

(611)

(612)

(613)

(614)

(615) ,

(616)

(617)

(618) hkl).. 0 a podstawie analizy podstawowych *

(619)

(620)

(621) +7! 4 1. 0 3

(622)

(623) ! /2 =109,47°/2 = 54,74°. 0 //! AA! ++! 3 9 D E α, gdzie α ! hkl). 2. 0 C

(624) ! 3. F C //! AA! ++! * γ ! hkl). Nachylenie to jest równe 90° – γ. 4. F ( ! * . do po

(625) 7 D – β)/2 = (180° – 9/,D!8+ G AH+ID *

(626) * (

(627)

(628) ! 5. 0 /! A! +!

(629) . * (

(630) ( α rów ! hkl! symbolem (*). 6. F C +! A! /! 180° – (90° + γ) = 90° – γ , gdzie γ ! z (hkl).. 0

(631) * %

(632) 4 34 ! //! AA! ++! z .4 ! /! A! +! gru !,

(633) B. & C

(634)

(635) hkl) ! "

(636)

(637) hkl! .

(638) . 20. (110) sugeruj *

(639) %

(640) ularny sposób. Pokazano to w podrozdziale 2.6..

(641)

(642) . (hkl! * %

(643)

(644) talicznej. Wiel

(645)

(646)

(647) ! na rysunku 1.2.8 [202, 203]. w. u. h. β p. a. h. s. h h w. b. ' 8 kry

(648) [202]. 1

(649) *

(650) *

(651) e

(652) o

(653) 4 a) %

(654) a = 2,360 Ö, b) = 109,471°. 0 na podstawie tych parametrów

(655) 4 ¾ % szczyznami o konfiguracji (100) h = a cos /2 = 1,362 Å,. ¾ %

(656) b = a sin /2 = 1,927 Å, ¾ % ( ! ! w = 2b = 3,854 Ö, ¾ a = 2 w = 5,450 Ö, ¾ % ' ( (110), (221), (331) itp. u = 3h =4,086 Ö, ¾ % ' ( +! A! p = [(2b) + h ] = 4,086 Å, ¾ % ' ( ( !. !. 1/2. s. 2. 2 1/2. s = [b2 + (2h)2]1/2 = 3,337 Å. * ' (

(657)

(658)

(659) * * w ( b

(660)

(661) !!.

(662)

(663)

(664)

(665) . 21. . hkl!

(666)

(667) o-. . pokazano na rysunku 1.2.9.. #

(668)

(669) o "

(670)

(671)

(672)

(673)

(674)

(675)

(676) %

(677) owierzchni, sz

(678)

(679)

(680)

(681) anizotropowego [202, 203, 216]. 4,086. 1,362. 4,086. 4,086. 3,337. 2,360. (211). (110) 4,086. 1,362. 1,362. 4,086. 4,086. 3,337 2,360. (331). 4,086. 3,337. (311) 3,854. 1,362. (100) (221). 3,337. (111) Rys. ' 9

(682) ! #:$

(683) . #hkl) [202].

(684) 22. .

(685)

(686)

(687) * lizy anizotropii

(688)

(689)

(690)

(691)

(692) Autorka zasto prostym modelu trawienia anizotropowego krzemu [217], przedstawionym

(693) . 1.3. Zastosowanie rzutu stereograficznego do opisuPRQRNU\V]WDáXNU]emu Jednoznaczny i przejrzysty

(694)

(695)

(696) * y

(697)

(698)

(699)

(700)

(701)

(702) z ( ! * %

(703)

(704)

(705) B * rzu

(706)

(707)

(708) *

(709)

(710)

(711) k

(712)

(713)

(714)

(715) * kazano sposób powstawania takiego rzutu

(716)

(717) *

(718) osowane w technologii przy

(719)

(720) ikowych. Konstrukcja rzutu stereograficznego jest poprzedzona tzw. rzutem sferycznym, który jest zbiorem punktów

(721) .

(722)

(723)

(724) , .

(725)

(726)

(727)

(728) u sfery, jak pokazano na rysunku 1.3.1a [164]. W ten sposób punkty, czyli

(729)

(730)

(731) "

(732)

(733) * e

(734) . z

(735)

(736)

(737) biegun sferyczny z tzw. „biegunem ( ' (

(738) – rys.1.3.1b) [164]. "

(739)

(740) *

(741) d %

(742)

(743)

(744) zazwy

(745) * • i | • i ×! **

(746)

(747)

(748)

(749)

(750)

(751)

(752) 0

(753)

(754) ! ! etr "

(755)

(756)

(757) * z hkl) * 0

(758)

(759)

(760)

(761)

(762) ;hkl<

(763) zczy (

(764) zatem

(765)

(766)

(767)

(768) "

(769)

(770) charakte

(771) na 4 ¾

(772)

(773)

(774)

(775)

(776) *

(777) ¾

(778)

(779)

(780) * ¾

(781)

(782)

(783) *

(784)

(785)

(786)

(787) .

(788)

(789)

(790)

(791) a). b). Rys. 1.3.1. Konstrukcja rzutu: a) sferycznego, b) stereograficznego. !u

(792) ! #--$ [164]. 23.

(793) . 24.

(794)

(795) y (100) i (110) pokazano na rysunku A+ " *

(796) % hkl), (

(797)

(798) a) (-100). (-110). (-1-10) (-101) (11-1). (0-10). (0-11). (001). (1-11). (-111). (011). (010). (111) (101). (110). (1-10). (100). b) (-110) (-111). (-11-1). (010) (011). (001). (111). (101). (01-1). (110). (100). (1-11). (11-1). (00-1). (10-1). (1-1-1) (1-10). ( ' & ! ;--<+ ;-< ;<) $ z #--$+ $ #-$.

(799)

(800)

(801)

(802) . 25. "

(803)

(804)

(805)

(806)

(807)

(808)

(809) %

(810) , a * .

(811) #

(812) %

(813) &u

(814)

(815)

(816) znych przecinajcych

(817) , jak to pokazano na rysunku 1.3.3 [164].. ( ( ! #--$ !

(818) (ikach Millera 1–3 [164]. C

(819)

(820)

(821)

(822)

(823)

(824) *

(825) u