ELEMENTY
ELEKTRONICZNE
AKADEMIA GÓRNICZO-HUTNICZA IM. STANISŁAWA STASZICAW KRAKOWIE Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji Katedra Elektroniki
dr inż. Piotr Dziurdzia
paw. C-3, pokój 413; tel. 617-27-02, piotr.dziurdzia@agh.edu.pl
dr inż. Ireneusz Brzozowski
paw. C-3, pokój 512; tel. 617-27-24, ireneusz.brzozowski@agh.edu.pl
TRANZYSTOR POLOWY Z IZOLOWANĄ BRAMKĄ
MOSFET
(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)
EiT 2014 r. PD&IB 2
struktura
METAL-IZOLATOR-PÓŁPRZEWODNIK (MIS)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 3
Najczęściej tlenek krzemu
SiO2 MOS metal oxide semiconductor np. aluminium
ale też
polikrzemUG
półprzewodnik
dielektryk metal
metal (kontakt omowy)
bramka
podłoże n albo p
STRUKTURA MOS POLARYZACJA
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 4
UG = 0 UG < 0
metal SiO
2krzem typu p
warstwa akumulacyjna
stan neutralny
(równowaga) akumulacja
E
pole elektryczne
- dziura – nośnik większościowy - jon domieszki akceptorowej
STRUKTURA MOS POLARYZACJA
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 5
UG > 0 UG >> 0
warstwa
zubożona warstwa
zubożona warstwa inwersyjna
obszar neutralny
zubożenie inwersja
E
pole elektryczne
E
- dziura – nośnik większościowy - elektron – nośnik mniejszościowy - jon domieszki akceptorowej
STRUKTURA MOS MODEL ENERGETYCZNY
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 6
UG
metal SiO
2krzem typu p
MS (typu P)O
wycinek
wycinek poprzeczny przez strukturę MOS
STRUKTURA MOS MODEL ENERGETYCZNY
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 7
M O S (typu P)
metal
EF
qM
energia elektronu w próżni
EC
EF
EV Ei qS
qS
półprzewodnik typu p
qi
izolator
• Praca wyjścia W – energia potrzebna na przeniesienie elektronu z poziomu Fermiego do nieskończoności (W
∞- W
F), (elektron swobodny w próżni)
q
M, q
S• Powinowactwo elektronowe - określa pracę wyjścia z poziomu minimalnej energii w paśmie przewodnictwa E
Cq
i, q
S•M– potencjał wyjścia z metalu
•S– potencjał wyjścia z półprzewodnika
•S– powinowactwo elektronowe izolatora
•S– powinowactwo elektr. półprzewodnika Struktura wyidealizowana
Uproszczenie: - równe prace wyjścia z metalu i półprzewodnika (M, S) – jednakowe poziomy Fermiego - pominięte stany powierzchniowe na granicy dielektryk-półprzewodnik (ład. powierzchniowy) - izolator jednorodny - pominięto ładunek w izolatorze
STRUKTURA MOS: MODEL ENERGETYCZNY POLARYZACJA UJEMNA
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 8
M O S (typu P)
metal
EF
izolator
EC
EF
EV Ei q(S - i )
półprzewodnik typu p
qUG
• Poziomy Fermiego w metalu i półprzewodniku różnią się o wartość energii pola elektrycznego qU
G• Energia wyjścia z dna pasma przewodnictwa w półprzewodniku do izolatora pozostaje niezmieniona q(
S-
i)
• Krawędzie pasm energetycznych (E
V, E
C) przyjmują taki sam kształt jak rozkład potencjału (x)
Czy to jest właściwy kształt pasm przy powierzchni półprzewodnika?
UG < 0
STRUKTURA MOS: MODEL ENERGETYCZNY POLARYZACJA UJEMNA
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 9
• Krawędzie pasm energetycznych (E
V, E
C) przyjmują taki sam kształt jak rozkład potencjału (x)
UG < 0
M O S (typu P)
metal
EF
izolator
qUG
x xox
0
EC
EF EV
Ei
q(S - i )
półprzewodnik typu p
qS
x xox
0 - -UG
xE
potencjał powierzchniowy spadek napięcia na warstwie izolatora ale:
Z powodu małej przewodności półprzewodnika, w porównaniu z metalem,
pole elektryczne wnika w głąb półprzewodnika.
POTENCJAŁ POWIERZCHNIOWY
Czyli jaki?
Uox S
xE - współrzędna dla której zanika pole elektryczne w półprzewodniku xd - grubość warstwy
zubożonej xd
STRUKTURA MOS: MODEL ENERGETYCZNY POLARYZACJA
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 10
UG < 0
M O S
(typu P)akumulacja
EF
qUG < 0
EC
EF
EV
Ei
q(S - i )
x
QS
QG
UG > 0
M O S
(typu P)zubożenie
EF
qUG > 0
EC
EF
EV
Ei
x
QS =Qd
(Qd = -qNAxd)
QG xd
UG >> 0
M O S
(typu P)inwersja
EF
qUG >> 0
EC
EF
EV
Ei
x
QS = Qn +Qd
QG xd
xinw
energia elektronuładunek
ŁADUNEK WARSTW POWIERZCHNIOWYCH opis ilościowy (1)
QG – ładunek bramki
Qd – ładunek warstwy zubożonej (ang. depletion)
dla półprzewodnika typu p: ład. nieskompensowanych atomów domieszki akceptorowej Qn – ładunek elektronów w obszarze inwersyjnym
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 11
oraz:
ox G
ox
C
U Q
lub:ox S
ox
C
U Q
Cox – pojemność warstwy dielektrycznej (tlenkowej – oxide)
ponieważ suma ład.: QG + QS = 0
(warunek obojętności elektrostatycznej)
napięcie bramki:
U
G U
ox
sW ogólnym przypadku
Rozkłady potencjału i gęstości ładunku w półprzewodniku są związane równaniem Poissona:
S
x
x
( )
2
2
Całkowity ładunek w półprzewodniku: QS
(
x)
dx0
S – względna przenikalność elektryczna półprzewodnika Zatem napięcie bramki:ox S s
G
C
U Q
Ładunek w półprzewodniku, w najogólniejszym przypadku, składa się z trzech składników:
• ładunek zjonizowanych atomów domieszek,
•ładunek zjonizowanych centrów generacyjno-rekombinacyjnych i
• ładunek nośników swobodnych.
Zatem, wyznaczenie zależności Q
S(
s) można przeprowadzić z różną dokładnością
[W. Marciniak, „Przyrządy półprzewodnikowe MOS”, WNT, Warszawa, 1991].
W najprostszym przybliżeniu uwzględnia się jedynie ładunek zjonizowanych centrów akceptorowych i donorowych o równomiernym
rozkładzie. Na głębokości x
distnieje skokowe przejście od obszaru ładunku przestrzennego do obszaru neutralnego.
ŁADUNEK WARSTW POWIERZCHNIOWYCH opis ilościowy (2)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 12
x
QS =Qd
QG xd
zubożenie
ŁADUNEK WARSTW POWIERZCHNIOWYCH opis ilościowy (3)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 13
d A
d
qN x
Q
d A D
d
q N N x
Q ( )
lub w ogólnym przypadku:
Zatem:
ładunek warstwy zubożonej:xd – grubość warstwy zubożonej, równa głębokości wnikania pola elektrycznego do półprzewodnika
)
21 ( ) (
s
x
dx x
Po rozwiązaniu równania Poissona otrzymujemy rozkład
potencjału elektrostatycznego w półprzewodniku:
oraz potencjał powierzchniowy:
S d D A s
x N N q
2 )
( 2
i ładunek: QSz 2qSNANDs
z – znak, , ustala znak ładunku w zależności od typu półprzewodnika dla zubożenia
s
s
d
S Q
Q w przypadku zubożenia:
x
QS =Qd
QG xd
zubożenie
Potencjały elektrostatyczne
Si
FPotencjały definiuje się względem poziomu E
iw głębi półprzewodnika.
Potencjał powierzchniowy
Sto różnica między poziomem samoistnym Fermiego E
iw głębi półprzewodnika i na powierzchni.
Potencjał Fermiego
Fokreśla położenie poziomu Fermiego E
Fw stosunku do poziomu samoistnego E
iw głębi półprzewodnika.
ŁADUNEK WARSTW POWIERZCHNIOWYCH opis ilościowy (4)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 14
EF qU>> 0G
EC
EF
EV
Ei
M O S
qS qF
Uwaga: oś potencjału zwrócona „do góry” oznacza wartość ujemną (bo ładunek elektronu) Zatem, potencjał Fermiego jest:
• dodatni dla półprzewodnika typu p
• ujemny dla półprzewodnika typu n
Potencjał powierzchniowy S w stanie zubożenia i inwersji ma ten sam znak co potencjał Fermiego F
ŁADUNEK WARSTW POWIERZCHNIOWYCH kondensator MOS (1)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 15
Jeśli do wzoru opisującego
potencjał powierzchniowy: S d D A S
x N N q
2 )
( 2
podstawimy: QS q
(
NDNA)
xdto otrzymamy:
S S
S
C
Q
gdzie:d S
S x
C
2
CS
– pojemność całkowita obszaru ładunku przestrzennego
Jest to pojemność warstwy półprzewodnika o grubości xd/2, określona w ogólnymprzypadku położeniem centroidu tego ładunku
(
współrzędna centroidu: xd/2 dla równomiernego rozkładu gęstości ładunku)Stan powierzchniowy Typ n (F < 0) Typ p (F > 0)
Akumulacja S > 0 QS < 0 S < 0 QS > 0
Płaskie pasma S = 0 QS = 0 S = 0 QS = 0
Zubożenie F < S < 0 QS > 0 0 < S < F QS < 0 Inwersja 2F < S ≤ F QS > 0 F ≤ S < 2F QS < 0
Silna inwersja S ≤ 2F QS > 0 2F ≤ S QS < 0 ZAKRESY POTENCJAŁU POWIERZCHNIOWEGO W RÓŻNYCH STANACH KONDENSATORA MOS
w przypadku zubożenia
ŁADUNEK WARSTW POWIERZCHNIOWYCH kondensator MOS (2)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 16
d A D m
S
Q q N N x
Q ( )
W stanach zubożenia i inwersji
sumaryczny ładunek w półprzewodniku:
ładunek nośników mniejszościowych
Dla małych QS, gdy ładunek Qm jest pomijalnie mały, grubość warstwy ładunku przestrzennego xd jest:
)
( D A
S
d q N N
x Q
Gdy rośnie QS (inwersja) szerokość warstwy zubożonej dąży do ustalonej wartości xdmax: )
( 4
max
A D
F S
d q N N
x
Pojemność różniczkowa kondensatora MOS:
G S G G
dU dQ dU CdQ
S ox S s S ox S G
C C dQ d dQ d dQ dU C
1 1
1
ox ox ox x C
przekształcając: oraz:
S ox
S ox
C C
C C C
ostatecznie: G B
Cox CS(UG)
schemat zastępczy
Zatem:
o całkowitej pojemności kondensatora MOS decyduje szeregowe połączenie Cox i CS
- coraz większy udział składowej Qm
obszar zubożony nie powiększa się
s ox
G U
U
KONDENSATOR MOS
CH-KA pojemnościowo-napięciowa
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 17
dla małych częstotliwości
ładunek Qm „nadąża” za zmianami napięcia, co objawia się zwiększeniem
pojemności dla silnej inwersji
dla dużych częstotliwości
ładunek Qm NIE„nadąża”
za zmianami napięcia, co objawia się stałą pojemnością dla silnej
inwersji
nierównowagowa
Rysunek zaczerpnięto z W. Marciniak „Przyrządy półprzewodnikowe MOS”, WNT 1991
G B
Cox CS(UG)
Cox – praktycznie stałe, niezależne od napięcia bramki UG,
CS – decyduje o
wypadkowej pojemności kondensatora MOS
RZECZYWISTA STRUKTURA MOS
W rzeczywistej strukturze MOS należy uwzględnić:
• Nierówne prace wyjścia z półprzewodnika i metalu – wstępne zagięcie poziomów energetycznych
• Energetyczne stany powierzchniowe na granicy izolator-półprzewodnik – dodatkowy ładunek Q
SS• Zanieczyszczenia w obszarze dielektryka – nieskompensowane ładunki
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 18
RZECZYWISTA STRUKTURA MOS KONTAKTOWA RÓŻNICA POTENCJAŁÓW
Kontaktowa różnica potencjałów to efekt różnych prac wyjścia z metalu i półprzewodnika:
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 19
S M
ms
Al
EF
qM = 4,1eV
energia elektronu w próżni
EC
EF EV
Ei
qS
qS = 4,05eV
Si typu p NA = 1,1E15cm-3 EgSi = 1,1eV
F
EgSi / 2 qi = 0,95eV
SiO2 Egox = 9eV
EF
qUFB
EC
EF
EV
Ei
3,1eV
3,15eV
Z porównania wykresów energetycznych:
)
(
S2
gSi FM ms
E
lub inaczej:
ms
mSi
Fi B T
F n
lnN
Kontaktowa różnica potencjałów metal-półprzewodnik samoistny
Koncentracja domieszki w podłożu:
NA dla pp. typu p ND dla pp. typu n UFB – napięcie płaskich pasm,
czyli takie napięcie na bramce, które „wyprostuje”
pasma energetyczne
q kT
T
potencjał
elektrotermiczny
STRUKTURA MOS NAPIĘCIE PROGOWE
Napięcie progowe to takie napięcie bramki U
G, że półprzewodnik na powierzchni wykazuje własności półprzewodnika samoistnego.
Odpowiada to takiemu napięciu na bramce, że:
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 20
F
s
2
ox d F ox
ef ms T
G
C
Q C
V Q U
F s
2
2
UFB
s D A S
d z q N N
Q 2
ox F A S F FB
T C
N U q
V
4
2
Często, dla uogólnienia rozważań ładunek zjonizowanych domieszek w podłożu (tutaj Qd) oznaczany jest przez QB - czyli ładunek podłożowy.
Czyli napięcie progowe można zapisać jako:
ox B F FB
T
C
U Q
V 2
równoważny ładunek powierzchniowy Pewien fikcyjny ładunek na granicy izolator-półprzewodnik związany z ładunkami:
• ruchomym w warstwie tlenku
• nieruchomym w warstwie tlenku
• stanów i pułapek powierzchniowych (na granicy tlenek/półprzewodnik)
Z analizy ładunków można wykazać, że:
lub inaczej dla podłoża p:
STRUKTURA MOS
NAPIĘCIE PROGOWE - interpretacja Napięcie progowe:
można zinterpretować jako:
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – fizyka półprzewodników: M-I-S 21
ox B F ox
ef ms
T
C
Q C
V Q 2
napięcie niezbędne do wyprostowania pasm
energetycznych U
FBnapięcie potrzebne do zagięcia pasm, tak aby potencjał powierzchniowy był równy podwojonemu potencjałowi Fermiego (silna inwersja:
S= 2
F)
TRANZYSTOR MOS Zróbmy tranzystor
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 22
U> 0 UG >> 0
U> 0
UG =0
Nic z tego! Prąd płynie. Nie ma sterowania przepływem prądu.
I> 0 I> 0
TRANZYSTOR MOS
Potrzebny jest jakiś zawór jednokierunkowy lub zasobnik z elektronami, bo można wytworzyć warstwę inwersyjną – wyindukować kanał typu n
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 23
n+
U> 0 UG >> 0
Jedna dioda to mało!
I> 0
n+
U> 0
I> 0 UG = 0
TRANZYSTOR MOS
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 24
n+
U> 0
n+
Teraz dobrze.
Prąd płynie tylko wtedy, gdy są elektrony pod bramką – jest kanał.
Napięcie bramki UG może sterować wartością prądu przez zmianę grubości kanału
druga dioda lub zasobnik
I= 0 UG = 0
n+
U> 0 UG >> 0
n+
I> 0
Dwie diody
TRANZYSTOR MOS BUDOWA
Przekrój poprzeczny tranzystora MOS, wzbogacanego z kanałem typu n
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 25
L – długość kanału W – szerokość kanału
Rysunek zaczerpnięto z S. Kuta „Elementy i układy elektroniczne”, AGH 2000
0
SiO2
p
TRANZYSTOR MOS DZIAŁANIE (1)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 26
G
B
UGS = 0, UGS < 0
S D
S D
UDS > 0
ID =
Gdy nie ma kanału w obwodzie dren-źródło
prąd nie płynie
(pomijając znikomy prąd wsteczny diody)
UDS
n+ n+
UDS ID
UDS > 0
SiO2
n+
p
n+
TRANZYSTOR MOS DZIAŁANIE (2)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 27
G
B
UGS > VT
S D
S D
ID > 0
U
GS> V
T– inwersja:
zmiany U
GSpowodują modulację konduktancji kanału sterując prądem drenu
UDS
n+
PRACA LINIOWA
UDS ID
p
TRANZYSTOR MOS DZIAŁANIE (3)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 28
G
B
UGS > VT
S D
S D
ID = const.
NASYCENIE:
zmiany U
DSNIEPOWODUJĄ wzrostu prądu drenu
UDS odcięcie kanału
UDS = UGS – VT dalsze zwiększanie UDS
UDS > UGS – VT
UDS ID
SiO2
n+
n+ n+
UDS >> 0
TRANZYSTOR MOS PRĄD DRENU
Spadek napięcia na elemencie y kanału można zapisać jako:
U = ID R (prawo Ohma) przy czym:
gdzie: S – pole pow. przekroju kanału: S = xW
– rezystywność kanału określona jako:
e – ruchliwość elektronów
n(y) – koncentracja elektronów jako fun. położenia y w kanale Podstawiając powyższe (2), (3) i (4) do (1) mamy:
Ponieważ n(y) to koncentracja nośników (elektronów) na jednostkę objętości, więc iloczyn: qn(y)x można potraktować jako powierzchniową gęstość ładunku ruchomego w kanale, więc:
Qn(y)= qn(y)x (znak minus bo nośnikami są elektrony). Zatem spadek napięcia na elemencie y to:
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 29
L – długość kanału W – szerokość kanału
(wg. osi Z ukł. wsp.) obszar zubożony
SiO2
n+ n+
p
kanał (typu n) Qn(y)
QB(y)
y 0 L
x
y US=0
UGS >0 UDS >0
ID
Założenia:
w kanale jest warstwa inwersyjna, źródło zwarte z podłożem, między drenem a źródłem płynie prąd, tranz. pracuje z zakresie nienasycenia.
S ΔR Δy
) ( 1
y n qe
x W y n q
Δy ΔU I
e D
)
(
(y) Q W
Δy ΔU I
n e
D
(1) (2) (3) (4)
(5)
(6)
TRANZYSTOR MOS PRĄD DRENU (2)
Powyższe równanie może być przepisane jako:
Zgodnie z rozważaniami dotyczącymi kondensatora MOS, dla przypadku inwersji, ładunek w półprzewodniku można zapisać jako sumę ładunku podłożowego (ujemne zjonizowane atomy domieszki akceptorowej) i ładunku elektronów (ruchomych nośników warstwy inwersyjnej):
QS Qn + (QB) i podstawiając Qn do równania (7) mamy:
Ładunek w półprzewodniku QS można wyznaczyć z równania:
opisującego napięcie bramki, które zostanie zmodyfikowane o napięcia płaskich pasm, więc napięcie bramki:
Zatem:
Ponieważ pod bramką istnieje warstwa oraz przez kanał płynie prąd wywołujący spadek napięcia U(y) w każdym punkcie kanału, to rozkład potencjału powierzchniowego wzdłuż kanału S(y) należy zapisać jako:
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 30
L – długość kanału W – szerokość kanału
obszar zubożony
SiO2
n+ n+
p
kanał (typu n) Qn(y)
QB(y) y L 0
x
y US=0
UGS >0 UDS >0
ΔU (y) Q Δy W
ID e
(
n)
Q(y) Q (y)
ΔU Δy WID
e S B (8)(7)
ox S s
G C
U Q
ox S s FB
G C
U Q
U (9)
(10)
(11) U(y)
(y) F
S
2
Przy źródle potencjał S wynosi 2F, to jest warunek silnej inwersji,
a potem, w kierunku drenu,
S powiększa się o spadek napięcia w kanale.
U U (y)
C (y)
QS ox G FBs
TRANZYSTOR MOS PRĄD DRENU (3)
Podstawiając (11) do (10) otrzymujemy równanie na ładunek w półprzewodniku uzależnione od rozkładu napięcia w kanale:
Wykorzystując (12) równanie (8) można podstawić:
Ładunek w podłożu QB w równaniu (13) w ogólności zależy od położenia y, ale można dla uproszczenia obliczeń założyć, że jest stały, nie zależny od położenia w kanale i opisany znanym już równaniem:
Zatem równanie (13) można przepisać:
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 31
L – długość kanału W – szerokość kanału
obszar zubożony
SiO2
n+ n+
p
kanał (typu n) Qn(y)
QB(y) y 0 L
x
y US=0
UGS >0 UDS >0
(14)
(15)
F A S
d q N
Q 4
(12)
ΔU C U(y)
U Q U W Δy C
I
ox B F FB G e ox
D
2
U U U(y)
ΔU Q WΔUW Δy C
ID ox
e G FB2
F B
ei dalej przekształcić do postaci:
Następnie uwzględniając
definicję napięcia progowego:
I
DΔy C
ox
eW U
G V
T U(y) ΔU
WC U U U(y) Q(y) ΔU
Δy
ID e ox G FB
2
F B
U U U(y)
ΔU Q(y) WΔU WCoxe G FB
2
F B e
U U U(y)
C (y)
Q
S
ox G
FB 2
F
(13)
TRANZYSTOR MOS PRĄD DRENU (4)
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 32
L – długość kanału W – szerokość kanału
obszar zubożony
SiO2
n+ n+
p
kanał (typu n) Qn(y)
QB(y) y L 0
x
y US=0
UGS >0 UDS >0
(17) (16) Teraz wystarczy już tylko scałkować równanie (15) w odpowiednich granicach („po kanale” od 0 do L i „po napięciu” od 0 do UDS):
otrzymując:
i ostatecznie:
ox e UDS G
T
L
D
dy C W U V U(y) dU
I
0 0
2
2 DS DS T GS e ox D
U U V U W C L
I
2
2 DS DS T GS e
ox D
U U V L U
C W
I
ZAKRES LINIOWY
Gdy napięcie UDS osiągnie wartość UDS = UGS VT , to wg równania (17) prąd drenu musiałby maleć (UDS w liniowym zakresie jest kwadratową funkcją UDS). Wtedy przy drenie następuje zanik kanału – nasycenie. Zatem podstawiając ten warunek (UDS = UGS VT ) do równania (17) otrzymujemy wyrażenie na prąd drenu w nasyceniu:
2
2 T GS e
ox D
V U L C W
I
Dla tranzystora typu P prąd drenu i napięcie są ujemne.
ZAKRES NASYCENIA
TRANZYSTOR MOS
CHARAKTERYSTYKI WYJŚCIOWE
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 33
T GS
DS U V
U
ZAKRES LINIOWY
UGS > VTn
0V < UDS < UGS – VTn
( ) 2
2 DS DS T GS ox n D
U U V U L C
I W
ZAKRES NASYCENIA
UGS > VTn UDS > UGS – VTn > 0V
)2
2 n ox( GS T
D C U V
L
I W
ODCIĘCIE UGS < VTn
IDS = 0
TRANZYSTOR MOS
CHARAKTERYSTYKI WYJŚCIOWE
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 34
NMOS PMOS
TRANZYSTOR MOS
CHARAKTERYSTYKI PRZEJŚCIOWE
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 35
ZAKRES LINIOWY
VGS > VTn 0V < VDS < VGS – VTn
( ) 2
2 DS DS T GS ox n D
U U V U L C
I W
ZAKRES NASYCENIA
VGS > VTn VDS > VGS – VTn > 0V
)2
2 n ox( GS T
D C U V
L
I W
TRANZYSTOR MOS
CHARAKTERYSTYKI PRZEJŚCIOWE
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 36
NMOS PMOS
Czy można na tych ch-kach wskazać zakres pracy liniowej i nasycenia?
Jak będzie wyglądała ewentualna krzywa rozdzielająca te zakresy?
RODZAJE TRANZYSTORÓW MOS
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 37
Rysunek zaczerpnięto z S. Kuta „Elementy i układy elektroniczne”, AGH 2000
p
Jeśli UGS = 0 to brak kanału
RODZAJE TRANZYSTORÓW MOS
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 38
Rysunek zaczerpnięto z S. Kuta „Elementy i układy elektroniczne”, AGH 2000
Przy UGS=0 istnieje kanał i możliwy jest przepływ prądu ID
TRANZYSTOR MOS EFEKT SKRÓCENIA KANAŁU
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 39
dla NMOS
ID
UDS
1/
T GS
DS U V
U
DS DS T GS ox n
D U U
V U L C I W
2
w zakresie linowym (bez zmian):
) 1 ( ) 2 (
2
DS T
GS ox n
D C U V U
L
I W
w zakresie nasycenia:
SiO2
n+
p
S G
D
B
obszar zubożony L L'
efekt ten często jest nazywany efektem modulacji długości kanału Pod wpływem wzrostu
napięcia UDS skraca się kanał.
Na odcinku L' - UDSat
n+
TRANZYSTOR MOS EFEKT PODŁOŻOWY
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 40
)
0
(
s BS sT
T
V U
V
dla NMOSobszar zubożony SiO2
p
S G D
B
n+ n+
UBS
NMOS PMOS
- współczynnik objętościowy
TRANZYSTOR MOS inne zjawiska
• EFEKT KRÓTKIEGO KANAŁU
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 41
ładunki przestrzenne złączy D-B i S-B są bliżej bardziej „przykrywając” obszar kanału
mniejsze napięcie progowe VT
Krótszy kanał
zwiększa się udział składowej wzdłużnej pola elektr. (UDS) w indukowaniu ładunku w kanale
napięcie UGS musi „wykonać mniejszą pracę”
w celu wytworzenia kanału
SiO2
n+ n+
p
S G
D
B L obszar zubożony
B
SiO2
n+ n+
p S G
D
obszar zubożony L'
TRANZYSTOR MOS inne zjawiska
• EFEKT WĄSKIEGO KANAŁU
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 42
pole poprzeczne (od nap. bramki) indukuje ładunek przestrzenny nie tylko pod bramką
większe napięcie progowe VT
Węższy kanał
kanał się zwęża więc zwiększa się udział składowej poprzecznej pola elektr. (UGS) w indukowaniu ładunku poza kanałem
napięcie UGS musi „wykonać większą pracę”
w celu wytworzenia kanału
płaszczyzna przekroju kanału
p G
B
obszar
zubożony W
SiO2
p G
B W'
SiO2
VT
W, L wąski kanał
krótki kanał
TRANZYSTOR MOS inne zjawiska
• ZAKRES PODPROGOWY
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 43
T DS GS
D
U U I
I
0( ) 1 exp
Słaba inwersja:
F≤
S< 2
FDyfuzyjny mechanizm przepływu prądu
W warunkach silnej inwersji koncentracja nośników mniejszościowych przy powierzchni (w kanale) jest większa niż koncentracja nośników
większościowych w głębi półprzewodnika. Stąd zapięcie progowe można zdefiniować jako takie napięcie bramki, że koncentracja …
UGS
ID
VT zakres podprogowy
ZAKRES PODPROGOWY
TRANZYSTOR MOS WPŁYW TEMPERATURY Na prąd drenu mają wpływ zależności temperaturowe:
– ruchliwości nośników w kanale – napięcia progowego
Temperaturowy współczynnik prądu drenu dla zakresu nasycenia:
Dla ruchliwości ( T
– a):
Dla napięcia progowego:
Eg nieznacznie maleje gdy temp. rośnie
F zmienia się o ok. –2mV/K
EiT 2014 r. PD&IB Elementy elektroniczne – tranzystor MOS 44
T V U U T T T
I
TWI I T
T GS D
D
D
1
) 2 ( 1
T a T
1
F F
ox ef g S m
T s
C Q q
V E 2
TWI
D może być dodatni, ujemny lub zerowy w zależnościod napięcia
U
GSID
UGS T1
T2 T1 < T2