AKADEMIA GÓRICZO-HUTICZA IM.STAISŁAWA STASZICA W KRAKOWIE
3
S
PIS TREŚCIWSTĘP I CEL PRACY... 4
1. WARSTWY WĘGLOWE – UWAGI OGÓLE... 7
1.1. Klasyfikacja ...7
2.METODY OTRZYMYWAIA WARSTW Z FAZY GAZOWEJ... 12
2.1. Metody fizycznego osadzania z fazy gazowej...13
2.2. Metody chemicznego osadzania z fazy gazowej ...15
3.MECHAIZM WZROSTU WARSTW W PROCESIE CVD ... 22
3.1. Reakcje chemiczne w układzie CVD...26
4.STRUKTURA WARSTW WĘGLOWYCH - AKTUALY STA WIEDZY... 33
5.OTRZYMYWAIE I BUDOWA WARSTW WĘGLOWYCH A ICH WŁAŚCIWOŚCI... 45
6.APARATURA... 51
7.PRZYGOTOWAIE PODŁOŻY I OTRZYMYWAIE WARSTW... 56
8.METODYKA BADAWCZA... 58
9.REZULTATY BADAŃ... 59
9.1. Dobór składu chemicznego wyjściowych mieszanin gazowych ...59
9.2. Wpływ parametrów RF CVD na szybkość wzrostu warstw...62
9.3. Wpływ parametrów procesu na budowę warstw ...73
9.3.1. Wstępna analiza widm FTIR ...73
9.3.2. Wpływ temperatury ...76
9.3.3. Wpływ ciśnienia ...81
9.3.4. Wpływ mocy generatora RF ...86
9.3.5. Wpływ czasu osadzania ...90
9.4. Wpływ parametrów RF CVD na strukturę warstw – podsumowanie ...93
9.5. Proponowane reakcje chemiczne prowadzące do wzrostu warstw a-C:N:H...95
10.PODSUMOWAIE WYIKÓW... 99
