1
Wykład VIII
Nośniki nadmiarowe w półprzewodnikach
• Dyfuzja i unoszenie nośników
• Prąd wstrzykiwania, długość drogi dyfuzji
• Gradienty quazi-poziomów Fermiego
2 Dyfuzja nośników: jakikolwiek gradient n lub p powoduje ruch nośników z obszaru o wyższej koncentracji do obszaru o niższej koncentracji
• dyfuzja jako wynik gradientu koncentracji
• dryft (unoszenie) w wyniku istnienia pola elektrycznego
Proces dyfuzji zachodzi w wyniku chaotycznego ruchu termicznego i zderzeń z siecią oraz z domieszkami
Główne mechanizmy transportu prądu
Niech n(x) ma postać jak na rys. (a). Podzielmy n(x) na kawałki o długości równej długości średniej drogi swobodnej ҧ𝒍 (b) powiększony widok dwóch kawałków .
Dyfuzja
Wprowadzamy średnią drogę ҧ𝒍 i średni swobodny czas ҧ𝒕 (odległość i czas między zderzeniami) liczba elektronów przechodzących przez x0 w czasie ҧ𝒕 z lewa na prawo
) A l n ( )
A l n (
21
2
1 2
1
𝑨 - przekrój poprzeczny do 𝒙
dx x dn t l x
x x
n x
n t
x l
n x
) ( 2
) (
) lim (
2 )
(
2
0 2
0
Szybkość przepływu elektronów w kierunku +𝒙 na jednostkę powierzchni jest równa
gęstości strumienia elektronów:
gdzie ҧ𝒍 = ∆𝒙
Gęstość strumienia
dx x D dn
x n
n
) ) (
(
dx x D dp
x p
p
) ) (
(
( ) ( )
( ) ( )
n n n
dn x dn x
J dyf q D qD
dx dx
( ) ( )
( ) ( )
p p p
dp x dp x
J dyf q D qD
dx dx
nazywa się współczynnikiem dyfuzji elektronów
2
2
n
D l
t
Prąd dyfuzyjny na jednostkę powierzchni = (strumień cząstek) x (ładunek nośników)
Analogicznie
Prąd dyfuzyjny
Jeśli dodatkowo istnieje pole elektryczne:
dx x qD dn
x x
n q x
J
n n n( )
) ( ) ( )
(
dx x qD dp
x x
p q
x
J
p p p( )
) ( ) ( )
(
Całkowita gęstość prądu : J(x) = Jn(x) + Jp(x)
Całkowita gęstość prądu
7
Dyfuzja i unoszenie nośników - przykład
Uwaga: nośniki mniejszościowe mogą dawać istotny wkład do prądu
dyfuzyjnego ( gradienty!) , zaś zwykle niewielki do prądu unoszenia (~ do koncentracji).
W stanie równowagi, prze półprzewodnik nie płynie prąd ! Zatem jeśli na
skutek fluktuacji nastąpi przepływ prądu dyfuzyjnego to natychmiast pojawia się pole elektryczne, które niweluje ten prąd.
Prąd dziurowy w stanie równowagi:
) 0 ) (
( ) ( )
(
dx x qD dp
x x
p q
x
J
p
p
pRelacja Einsteina
𝒑 = 𝒑
𝟎kT E
E i
F
e
in
p
0
( )/
dx dE dx
dE kT
x D
i Fp p
1 )
(
0 dx
dE
F) ( x dx q
dE
i
(x) dVdx(x) dxd (Eqi) q1 dEdxi
q D kT
𝜀 𝑥 = 𝐷
𝑝
𝜇
𝑝1
𝑘𝑇 𝜀(𝑥)
) / (cm2 s
Dn Dp(cm2 / s)
n( cm Vs
2/ )
p( cm Vs
2/ )
Ge 100 50 3900 1900
Si 35 12.5 1350 480
GaAs 220 10 8500 400
Współczynnik dyfuzji i ruchliwość nośników w półprzewodnikach samoistnych w T= 300K.
q D kT
Równanie ciągłości
Analizując procesy dyfuzji do tej pory zaniedbywana była rekombinacja.
Tymczasem musi być brana pod uwagę przy analizie transportu prądu, gdyż prowadzi do zmiany dystrybucji nośników.
Rozważmy prąd wchodzący i wychodzący z elementu objętości ∆𝒙𝑨.
• szybkość wzrostu ilości dziur = [wzrost koncentracji w elemencie objętości (
𝒙
𝑨)] – [szybkość rekombinacji]Jeśli , zmianę prądu można zapisać w postaci różniczki:
p p
p x
x x
p x
x x
J x
J q t
p
) (
) 1 (
Równania ciągłości dla elektronów i dziur
0
x
( , ) 1
pp
p x t p J p
dla dziur
t t q x
( , ) 1
nn
n x t n J n
dla elektronów
t t q x
Są to równania ciągłości, odpowiednio dla dziur i elektronów
∆𝑗 = 𝑞∆𝑝𝑣 = 𝑞∆𝑝∆𝑥/∆𝑡
Równania ciągłości dla elektronów i dziur
Jeśli założyć, że nie ma prądu unoszenia tylko prąd dyfuzyjny:
( ) ( )
n n n n
dn x n
J J dyf qD qD
dx x
n n
n x
D n t
n
2 2
p p
p x
D p t
p
2 2
i podobnie dla dziur:
Są to równania opisujące proces dyfuzji, któremu
towarzyszy proces rekombinacji.
2
0
2
n n
n x
D n t
n
n n
n x
D n
2 2
Można przejść do różniczek zupełnych, bo w stanie stacjonarnym nie ma zależności od czasu
Stan stacjonarny
2 2
2
n n
n
L
n D
n dx
n
d
L
n D
n
n2 2
2
p p
p
L
p D
p dx
p
d
p p
p
D
L
długość dyfuzji dla elektronów
długość dyfuzji dla dziur
p
p x L
L
x
C e
e C x
p ( )
1 /
2 /
Rozwiązanie ogólne:
gdzie
Lp
pe
xx
p ( )
/
Lp
pe
xp x
p ( )
0
/) ) (
) (
( p x
L q D dx
x qD dp
x J
p p p
p
Załóżmy, że dziury są wstrzykiwane w x = 0, i niech 𝒑(𝒙 = 𝟎) = 𝚫𝒑.
Wówczas z warunków brzegowych:
Przykład
p
p x L
L
x
C e
e C x
p ( )
1 /
2 /
𝒑(𝒙 → ) = 𝟎 𝑪
𝟏= 𝟎 𝒊 𝑪
𝟐= 𝚫𝒑,
Wstrzyknięcie dziur w x = 0, prowadzi do rozkładu stacjonarnego p(x) i prądu dyfuzyjnego Jp(x).
Na skutek rekombinacji, wstrzyknięta nadmiarowa koncentracja dziur
maleje wykładniczo ze wzrostem x. Długość dyfuzji 𝑳𝒑, odpowiada odległości przy której nadmiarowa koncentracja dziur spada do wartości 𝟏/𝒆 z
wartości 𝚫𝒑 .
Przykład cd.
Gradienty quasi-poziomów Fermiego
dx x qD dn
x x
n q x
Jn n n ( )
) ( ) ( )
(
dx dE dx
dF kT
x e n
dx n d dx
x
dn F E kT n i
i
i
n ( )
)
( ( )/
dx q F x d
dx q F x d
n dx q
x dF n
x dx q
x dF n x
x n q
dx dE dx
x dF n x
x n q x
J
n n
n n
n n
n n
n
i n
n n
n
) / ) (
) ( / ) (
( )
(
) ( )
( )
( ) (
) ( )
( ) ( )
(
( / ) ( / )
( ) ( )
p( )
p*
p p p
d F q d F q
J x q p x x
dx dx
Procesy unoszenia i dyfuzji nośników są równoważne przestrzennej zmianie quasi-poziomów Fermiego
zmodyfikowane prawo Ohma
W stanie równowagi gradEF = 0. Pojawienie się prądu unoszenia i dyfuzji prowadzi do gradientów quasi-poziomów Fermiego:
q D kT
Zadania
17
1. Próbka samoistnego Si jest domieszkowana z jednej strony tak, że 𝑵𝑫 = 𝑵𝟎 𝐞𝐱𝐩 −𝒂𝒙 .
a) Znajdź wyrażenie na pole elektryczne 𝜺(𝒙) w obszarze próbki, gdzie 𝑵𝑫 ≫ 𝒏𝒊
b) Oblicz 𝜺(𝒙) dla 𝒂 = 𝟏
𝝁𝒎
c) Narysuj diagram pasmowy i zaznacz kierunek pola 𝜺 𝒙 .
2. Współczynnik dyfuzji elektronów w krystalicznym Si jest równy 𝑫 = 𝟑𝟔𝒄𝒎𝟐/𝒔 a ruchliwość 𝟏𝟑𝟓𝟎𝒄𝒎𝟐(𝑽𝒔) −𝟏. W pewnej próbce Si koncentracja elektronów maleje liniowo na dystansie 𝟐𝝁𝒎 od 𝒏 = 𝟐. 𝟕 ∙ 𝟏𝟎𝟏𝟔𝒄𝒎−𝟑 do 𝟏 ∙ 𝟏𝟎𝟏𝟓𝒄𝒎−𝟑.
a) Ile wynosi gęstość prądu dyfuzyjnego wywołanego przez ten gradient?
b) Jaki spadek napięcia na tym dystansie będzie konieczny aby związany z nim prąd unoszenia skompensował ten prąd
dyfuzyjny?
18
3. Załóż, że w T=300K w próbce krystalicznego Si typu p, ruchliwość elektronów jest równa 𝝁𝒏 = 𝟏𝟐𝟓𝟎𝒄𝒎𝟐(𝑽𝒔) −𝟏 co odpowiada
koncentracji akceptorów 𝑵𝑨 = 𝟏𝟎𝟏𝟒𝒄𝒎−𝟑 i czasowi życia elektronów 𝝉𝒏 = 𝟏𝟎−𝟔𝒔. Oblicz długość drogi dyfuzji elektronów.
Odp.
Zad.1.
a) 𝐤𝐓
𝐪𝐚 b) 𝟐𝟓𝟗𝑽/𝒄𝒎 Zad.2.
a) 𝟕𝟒𝟗𝑨/𝒄𝒎𝟐 b) 257V/cm Zad.3
𝟓𝟔𝝁𝒎