INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK
PL - 02-668 WARSZAWA, AL. LOTNIKÓW 32/46 Tel. (48-22) 843 66 01 Fax. (48-22) 843 09 26
REGON: P-000326061, NIP: 525-000-92-75
DZPIE/004/2010
Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego
Przedmiot postępowania: Układ optycznego monitorowania wzrostu MBE.
Kod CPV: 38.12.63.00-7
Tryb udzielenia zamówienia:
Postępowanie jest prowadzone w trybie przetargu nieograniczonego zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego 2004 wraz z późniejszymi zmianami).
Inwestor/Kupujący: Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46.
NIP: 525-000-92-75.
Regon: P-000326061
Zakup przedmiotu zamówienia jest współfinansowane ze środków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego Unii Europejskiej w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna Gospodarka nr UDA-POIG.01.03.01-00-159/08-00 pt.: Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych (InTechFun).
§1. Opis przedmiotu zamówienia:
Przedmiotem zamówienia jest dostawa i uruchomienie urządzenia do pomiaru promienia wygięcia i temperatury podłoża podczas epitaksji z wiązek molekularnych (molecular beam epitaxy – MBE) warstw epitaksjalnych azotków metali grupy III. Wzrost struktur prowadzony będzie metodą epitaksji z wiązek molekularnych z użyciem plazmy azotowej (Plasma Assisted Molecular Beam Epitaxy - PAMBE) w warunkach bogatych w metal. Dzięki precyzyjnej kontroli parametrów wzrostu, a zwłaszcza temperatury, możliwe będzie utrzymywanie na powierzchni próbki 1-2 monowarstw metalu podczas wzrostu, co zapewni stabilne warunki krystalizacji. Jako podłoża wykorzystywane będą płytki Si, struktury GaN/szafir i objętościowe podłoża GaN. W ostatnich dwóch przypadkach przed procesem wzrostu tylna powierzchni podłoży pokrywana jest warstwą metalu (Mo, Ti). Analiza in situ krzywizny podłoża pozwoli kontrolować naprężenia w strukturach epitaksjalnych w trakcie ich wzrostu.
Wymagania techniczne:
Wymaga się żeby oferowane urządzenie było fabrycznie nowe. Urządzenia brane pod uwagę w tym postępowaniu przetargowym powinny zawierać najnowsze, ale sprawdzone w praktyce
rozwiązania technologiczne. Urządzenie powinno się charakteryzować następującymi parametrami technicznymi i warunkami ogólnymi:
1) Urządzenie powinno umożliwić pomiar temperatury warstwy GaN lub podłoża Si w zakresie nie mniejszym niż 450 – 1100 °C z dokładnością przynajmniej ± 2°C.
Wymagana rozdzielczość odczytu temperatury ma być nie mniejsza niż ± 2°C.
2) Pomiar temperatury i krzywizny próbki ma być bezkontaktowy i nie wpływać na warunki wzrostu.
3) Wyznaczanie temperatury próbki ma być realizowane poprzez
a) pomiar przerwy energetycznej azotku galu, z uwzględnieniem czynników, które (obok temperatury) wpływają na jej wielkość tj. poziom domieszkowania, przygotowania powierzchni, etc.
lub
b) metodą pirometrii optycznej z uwzględnieniem, tzn. z automatyczną korekcją, ewentualnych zmian emisyjności powierzchni warstwy w trakcie wzrostu epitaksjalnego.
4) Warstwa metalu, która osadza się na okienkach podczas kolejnych procesów technologicznych może zaburzać odczyt temperatury. Urządzenie powinno umożliwiać korekcję zmieniającej się transmisji okienek i innych potencjalnych źródeł błędów odczytu temperatury np. promieniowania z komórek efuzyjnych.
5) Urządzenie musi umożliwiać pomiar szybkości wzrostu in-situ.
6) Urządzenie musi zawierać układ do pomiaru stopnia szorstkości hodowanej warstwy przy pomocy analizy światła odbitego o długości fali nie większej niż 650 nm.
7) W trakcie wzrostu próbka porusza się i obraca. Czasami obrót ten prowadzi do
„kiwania” się normalnej do powierzchni próbki. Szkodliwy wpływ tego efektu na pomiar musi być zminimalizowany. W szczególności, pomiar krzywizny i temperatury musi być dokładnie zsynchronizowany z obrotami próbki.
8) Oferowane urządzenie powinno zawierać komputer sterujący desktop. Niezbędny hardware oraz software powinny zostać na nim zainstalowane, przetestowane i skalibrowane. Wymagana jest podstawowa baza danych z plikami kalibracyjnymi oraz możliwość dodawania takich plików przez użytkownika.
9) Urządzenie powinno posiadać wyjścia do sterowania procesami technologicznymi np.
dawać możliwość sprzężenia zwrotnego z kontrolerem temperatury grzejnika podłoża.
10) Dostawa powinna obejmować dodatkowy klucz elektroniczny umożliwiający analizę danych pomiarowych na oddzielnym komputerze biurowym.
11) Wymaga się dostarczenia podstawowego zestawu płytek do kalibracji pomiaru temperatury i krzywizny powierzchni.
12) Instalacja urządzenia musi być możliwa na maszynie MBE Riber Compact 21 przy wykorzystaniu centralnego portu CF100. Port ten wyposażony jest w układ peryskopowy ze zwierciadłem w postaci płytki Si ustawionej pod kątem 45 stopni do linii poziomej. Układ peryskopu zamknięty jest flanszą CF100 z oknem szklanym (Kodial). Odległość próbki od zwierciadła wynosi ~61 cm, zaś od zwierciadła do okna szklanego ~16 cm
13) Przy geometrii układu jak powyżej wymagany zakres pomiaru krzywizny próbki co najmniej od -400 km-1 do + 400 km-1 z rozdzielczością lepszą niż ±3 km-1.
14) Gwarancja minimum 12 miesięcy (W przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym usunięciem).
§2. Termin wykonania zamówienia:
Wymaga się, aby ostateczne uruchomienie układu nastąpiło nie później niż w ciągu 14 tygodni od podpisania umowy. Zaleca się możliwość wcześniejszej dostawy dokumentacji technicznej i oprogramowania celem jego testowania i treningu użytkownika.
§3. Warunki udziału w postępowaniu oraz opis sposobu dokonywania oceny spełniania tych warunków:
1 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art.
22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej,
i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust. 1.
2 Zamawiający zweryfikuje ofertę pod względem obecności oświadczenia o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu oraz oświadczenia o braku podstaw do wykluczenia z postępowania.
§4. Wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie maja dostarczyć wykonawcy w celu potwierdzenia spełniania tych warunków:
1 Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP.
2 Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1 i 2 Ustawy PZP.
§5. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do porozumiewania się z wykonawcami:
1 Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie.
2 Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami:
Maciej Zajączkowski tel/fax: (22) 847 00 82
§6. Termin związania ofertą:
1 Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 30 dni od daty terminu składania ofert.
§7. Opis sposobu przygotowania oferty:
1 Ofertę sporządza się w języku polskim lub angielskim z zachowaniem formy pisemnej, trwałą, czytelną techniką.
2 Oferta powinna zawierać:
1) zwięzły opis techniczny urządzenia wykazujący zgodność oferty z wymaganiami technicznymi przedstawionymi w SIWZ;
2) termin dostawy;
3) warunki gwarancji.
4 Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej niż jedną ofertę, zostanie wyłączony z postępowania.
5 Nie dopuszcza się składania ofert częściowych i wariantowych.
6 Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte (zbindowane).
7 Oferent powinien zamieścić ofertę w kopercie z adresem i nazwą Zamawiającego oraz Oferenta, a także napisem:
"Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie przetargu nieograniczonego na układ optycznego monitorowania wzrostu MBE
[DZPIE/004/2010]"
§8. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert:
1 Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria ogólna) w godzinach 9.00 ÷ 15.00 w dni robocze, do dnia 8 lutego 2010 r. do godz.
12.00.
2 W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania).
3 Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego, budynek I sala 203 o godzinie 14:30.
§9. Opis sposobu obliczenia ceny:
1 Cena wyrażona w walucie polskiej „PLN”, unii europejskiej „EUR” lub w dolarach amerykańskich „USD”.
2 Dla oceny ofert waluty będą przeliczone na PLN wg kursu średniego NBP z dnia otwarcia ofert.
3 Cena powinna uwzględniać:
cenę sprzętu na warunkach DDU Warszawa;
pakowanie, dostawę, montaż i szkolenie.
§10. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego:
1 Cena 100 pkt.
2 Przy przeliczaniu punktów zamawiający posłuży się wzorem:
gdzie:
Cmin – cena najtańszej oferty;
Cbad – cena oferty badanej
§11. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego:
1 Wykonawca, który wygra postępowania o udzielenie zamówienia publicznego, powinien podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenie terminu na wnoszenie protestów i odwołań, na warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków zamówienia, jednak nie później niż termin związania ofertą.
§12. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego:
1 Warunki płatności:
1) 80% w terminie do 30 dni od daty dostawy do IF PAN 2) 20% w terminie do 30 dni od daty instalacji w IF PAN
Dopuszcza się wcześniejszą opłatę za dokumentację techniczną i oprogramowanie (nie więcej niż 40% wartości kontraktu) jeśli dostarczone będą osobno.
2 Wykonawca, którego oferta zostanie wybrana w przetargu, wraz z dostawą powinien dostarczyć:
1) Pisemną gwarancję na wszelkie urządzenia wchodzące w skład dostawy.
2) Kompletną dokumentację techniczną urządzenia (2 komplety na papierze i jeden komplet w wersji elektronicznej – format PDF).
Zamawiający wymaga przed podpisaniem protokołu odbioru końcowego przeprowadzenia szczegółowego przeszkolenia co najmniej czterech pracowników Zamawiającego
3 W przypadku wystąpienia zwłoki w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1%
wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po umownym terminie wykonania. Suma kar nie może przekroczyć 10% wartości umowy.
4 Zamawiający ma prawo przedłużyć termin instalacji jeśli w terminie podanym w §2 układ MBE będzie niedostępny z powodów technologicznych.
5 W przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym usunięciem.
§13. Pouczenie o środkach ochrony prawnej:
Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego 2004 wraz z późniejszymi zmianami).
……… ………
pieczęć adresowa Oferenta data
Oświadczenie
Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych, który stanowi, że:
„O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki, dotyczące:
1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania;
2) posiadania wiedzy i doświadczenia;
3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania zamówienia;
4) sytuacji ekonomicznej i finansowej.”.
………
pieczęć imienna Oferenta
……… ………
pieczęć adresowa Oferenta data
Oświadczenie
1) Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych.
………
Pieczęć imienna i podpis Oferenta
……… ………
pieczęć adresowa Oferenta data
Wykaz części zamówienia, które Wykonawca powierzy podwykonawcom
1.
Lp Zakres zamówienia, który Wykonawca zamierza powierzyć podwykonawcom
1
2
3
4
5
………
Pieczęć imienna i podpis Oferenta
1 w przypadku, gdy Wykonawca wykona zamówienia samodzielnie, należy wypełnić tabelkę kreskami. W przypadku nie załączenia wykazu do oferty, Zamawiający zinterpretuje to jako brak części zamówienia, które Wykonawca powierzy podwykonawcom.
